【康沃真空網(wǎng)】上海滬港建設(shè)咨詢有限公司受招標(biāo)人委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo)，于2022-11-29在中國國際招標(biāo)網(wǎng)公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1、招標(biāo)條件
項目概況:復(fù)旦大學(xué)原子層沉積設(shè)備采購
資金到位或資金來源落實情況:已到位已落實
項目已具備招標(biāo)條件的說明:已具備招標(biāo)條件
2、招標(biāo)內(nèi)容
招標(biāo)項目編號:2000-224HG2206027
招標(biāo)項目名稱:復(fù)旦大學(xué)原子層沉積設(shè)備采購
項目實施地點:中國上海市
招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
| 序號 | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡要技術(shù)規(guī)格 | 備注 |
| 1 | 原子層沉積設(shè)備 | 1 | 3、設(shè)備要求和技術(shù)規(guī)格 3.1.反應(yīng)腔 3.1.1.★反應(yīng)腔達(dá)到或優(yōu)于沉積8英寸，向下兼容4英寸的襯底。 3.1.2.★反應(yīng)腔體最高加熱溫度≥200℃,溫度控制精度小于±1℃或更優(yōu)。 3.1.3.★反應(yīng)腔體基板加熱溫度≥500℃,溫度控制精度小于±1℃或更優(yōu)。 3.1.4.★采用干泵和分子泵兩級真空系統(tǒng)，反應(yīng)腔體抽取本底真空至少2×10-6 Torr或更優(yōu)。 3.1.5.沉積腔高度≥30cm。 3.2.傳輸腔： 3.2.1.★反應(yīng)腔體和傳輸腔體之間需配備自動閥門，需在不打開反應(yīng)腔情況下裝卸樣品，自動完成反應(yīng)腔和傳輸腔之間樣品的傳送。 3.2.2.傳輸腔配備干泵和分子泵兩極真空系統(tǒng)，傳輸腔體真空度≥2×10-6Torr或更優(yōu)。 3.2.3.傳輸腔需配置觀察視窗。 3.3.前驅(qū)源系統(tǒng) 3.3.1. 前驅(qū)體氣體管路需滿足有毒性氣體或易燃性工藝氣體的適用要求，管路需配備ALD閥、不銹鋼管路和 VCR 連接器等配置。 3.3.2.★設(shè)備配置6條以上完全獨立的前驅(qū)源管路及源瓶，每一路都需用于液體，氣體或者固體的前驅(qū)源，并可隨時切換前驅(qū)源。 3.3.3.★從前驅(qū)源瓶到泵之間的所有管路需能加熱，其中從前驅(qū)源瓶到反應(yīng)腔的管路需能加熱至200℃以上。從反應(yīng)腔到泵之前的管路需能加熱至120℃以上，溫度控制精度±1℃或更優(yōu)。 3.3.4.★每個前驅(qū)源鋼瓶均需能單獨加熱到190℃以上，溫度控制精度±1℃或更優(yōu)，3路前驅(qū)源鋼瓶容積50ml或更優(yōu)。 3.3.5.★單源脈沖時間需精確控制到0.015s或更優(yōu)。 3.3.6.源瓶及其與之相聯(lián)接的管路和閥門系統(tǒng)須配備相應(yīng)措施與設(shè)計，確保在更換源瓶過程中不會被污染，以方便料源的更換。 3.3.7.配置有聯(lián)鎖裝置，以防止氧化氣體和還原性氣體的混合。 3.4. 等離子系統(tǒng) 3.4.1.★配備ICP遠(yuǎn)程脈沖等離子體源，脈沖開關(guān)時間＜1ms；射頻電源頻率為13.56MHz，射頻功率需能達(dá)300W以上，功率可調(diào)節(jié)。 3.4.2.等離子體發(fā)生腔與樣品垂直距離大于25cm或更優(yōu),最大程度避免等離子體損傷。 3.4.3.★等離子體包括大于等于6路獨立的等離子體工藝氣體管路和1路工藝載氣，工藝載氣使用量單脈沖不大于100sccm。 3.4.4.等離子體源必須足夠靈活，需能在富離子和富自由基的模式下工作。 3.4.5.★等離子體源和襯底之間沒有移動部件(如百葉窗或閘閥)或中和器網(wǎng)格，以減少等離子體沉積過程中粒子的產(chǎn)生。 3.4.6.等離子源系統(tǒng)具備升級為Al2O3等離子管或更優(yōu)的能力。 3.4.7.每一路氣體需配備自己獨立的質(zhì)量流量控制器和關(guān)閉閥,MFC精度優(yōu)于±1%。 3.5.軟件及操作安全的技術(shù)要求 3.5.1.儲存、讀取功能，能夠?qū)С鰧嶒灁?shù)據(jù)，顯示運行時間內(nèi)設(shè)備系統(tǒng)各部分參數(shù)的時間趨勢圖，包括各部分質(zhì)量流量、溫度、壓強的時間趨勢圖，用于監(jiān)測設(shè)備穩(wěn)定性；沉積過程中監(jiān)測顯示每個源管路的脈沖壓強，顯示脈沖壓強與時間關(guān)系圖，用于監(jiān)測脈沖穩(wěn)定性；軟件應(yīng)具有分級登錄系統(tǒng)，不同的操作人員有不同的用戶訪問級別，在高層登錄時，系統(tǒng)軟件中應(yīng)可選擇每一層操作員能夠訪問的功能。 1.5.2.為了確保操作人員及設(shè)備的安全，需配備設(shè)備緊急關(guān)閉按鈕，并具有添加更多按鈕的能力。 3.6.其他技術(shù)要求 3.6.1.★膜厚均勻性：< 1% 1σ。 3.6.2.★薄膜生長速率：Al2O3薄膜生長200 cycles，Plasma @250-300℃: ≥ 0.9A ± 0.1 A/cycle, Al2O3 沉積循環(huán)周期時間：≤8 秒/cycle； Al2O3 Thermal @250-300℃: ≥1.0A ± 0.1 A/cycle, Al2O3 沉積循環(huán)周期時間：≤8 秒/cycle。 3.6.3.★需配置過濾吸附阱。 3.7.主機(jī)、附件詳細(xì)清單： 8英寸Wafer的不銹鋼單反應(yīng)腔室1個，向下兼容4英寸或更優(yōu)； 自動Load-Lock基片裝載系統(tǒng)1套； 由MFC控制的反應(yīng)氣體管路6路； 由MFC控制的工藝載氣1路； 反應(yīng)前驅(qū)源管路(每路分別包含ALD專用閥門、帶加熱的前驅(qū)源鋼瓶和不銹鋼管路)6路 真空干泵+渦輪分子泵1套 ICP遠(yuǎn)程脈沖等離子源套件（包括離子源、阻抗適配器、RF電源）1套； ALD過濾吸附阱1個； 控制系統(tǒng)采用LabView 系統(tǒng)控制，人機(jī)界面由基于Win10 軟件系統(tǒng)的電腦控制； 機(jī)柜1個。 3.8計量標(biāo)準(zhǔn) 設(shè)備的設(shè)計和制造符合出廠技術(shù)指標(biāo)要求，并符合ISO國際標(biāo)準(zhǔn)；所有的可更換零部件和各種儀表的計量單位和標(biāo)出單位應(yīng)全部采用國際單位（SI）標(biāo)準(zhǔn)；設(shè)備符合有關(guān)國際和中國國家安全標(biāo)準(zhǔn)，以及相應(yīng)的安全與健康及環(huán)保要求。 |
3、投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:1）投標(biāo)人應(yīng)為符合《中華人民共和國招標(biāo)投標(biāo)法》規(guī)定的獨立法人或其他組織；
2）投標(biāo)人應(yīng)為投標(biāo)產(chǎn)品的制造商或其合法代理商，代理商投標(biāo)應(yīng)提供投標(biāo)產(chǎn)品的制造商針對本項目的正式授權(quán)；
3）投標(biāo)人須在投標(biāo)截止期之前在國家商務(wù)部認(rèn)可的機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺（以下簡稱機(jī)電產(chǎn)品交易平臺，網(wǎng)址為：http://www.chinabidding.com）上完成有效注冊；
4）本項目不允許聯(lián)合體投標(biāo)。
是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受
未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以
4、招標(biāo)文件的獲取
招標(biāo)文件領(lǐng)購開始時間:2022-11-29
招標(biāo)文件領(lǐng)購結(jié)束時間:2022-12-06
是否在線售賣標(biāo)書:否
獲取招標(biāo)文件方式:現(xiàn)場領(lǐng)購
招標(biāo)文件領(lǐng)購地點：郵件獲取
招標(biāo)文件售價:免費
其他說明:有興趣的潛在投標(biāo)人應(yīng)于2022年11月29日起至2022年12月6日（16:00止（北京時間），通過郵箱hgbbzb@163.com，并電話聯(lián)系招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)（聯(lián)系電話：18879511350）獲取采購文件，逾期不再辦理。電子招標(biāo)文件售價零元。未按規(guī)定從招標(biāo)機(jī)構(gòu)處獲取招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人將不得參加投標(biāo)。
5、投標(biāo)文件的遞交
投標(biāo)截止時間（開標(biāo)時間）:2022-12-20 15:00
投標(biāo)文件送達(dá)地點:上海市徐匯區(qū)斜土路2358號（車行入口）斜土路2364號（人行入口）7樓會議室
開標(biāo)地點:上海市徐匯區(qū)斜土路2358號（車行入口）斜土路2364號（人行入口）7樓會議室
6、投標(biāo)人在投標(biāo)前應(yīng)在必聯(lián)網(wǎng)（https://www.ebnew.com）或機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺（https://www.chinabidding.com）完成注冊及信息核驗。評標(biāo)結(jié)果將在必聯(lián)網(wǎng)和中國國際招標(biāo)網(wǎng)公示。
7、聯(lián)系方式
招標(biāo)人:復(fù)旦大學(xué)
地址:中國上海市楊浦區(qū)邯鄲路220號
聯(lián)系人:張老師
聯(lián)系方式:86-21-65641327
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu):上海滬港建設(shè)咨詢有限公司
地址:上海市徐匯區(qū)斜土路2358號（車行入口）斜土路2364號（人行入口）
聯(lián)系人:戚老師、王老師
聯(lián)系方式:17811909079、18879511350
8、匯款方式:
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)開戶銀行(人民幣):
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)開戶銀行(美元):
賬號(人民幣):
賬號(美元):
