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半導體科學技術研究院采購半導體學院采購真空等離子體處理儀
2022-11-23  閱讀

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  【康沃真空網】半導體科學技術研究院采購半導體學院采購真空等離子體處理儀

  競價公告(JJ22112314514196)

  ...

  說明:各有關當事人對競價公告內容有異議的,可以在競價截止時間前通過規定途徑提起異議,逾期將視為無異議,不予受理。

  采購單位:華南師范大學

  聯系人:采購用戶

  聯系電話:0757-86667962

  E-mail:410749201@qq.com

  傳真:無

  聯系手機:無

  郵編:無

  質疑電話:85211082

  平臺聯系電話(異議):020-37619972;jycg001@qq.com

  項目名稱:

  半導體科學技術研究院采購半導體學院采購真空等離子體處理儀

  競價編號:

  JJ22112314514196

  采購類型:貨物類

  開始時間:2022-11-23 14:51:00

  項目預算(元):35,000.00

  結束時間:2022-11-26 14:51:00

  一、基本信息

競價編號:JJ22112314514196
項目名稱:半導體科學技術研究院采購半導體學院采購真空等離子體處理儀
項目預算(元):35,000.00報價方式: 總價報價
采購單位:華南師范大學聯系人:采購用戶
最少報價家數:3聯系電話:0757-86667962
聯系手機:無電子郵箱:410749201@qq.com
異議反饋:020-37619972;jycg001@qq.com
開始時間:2022-11-23 14:51:00截止時間:2022-11-26 14:51:00

郵編:無

平臺聯系電話(異議):020-37619972;jycg001@qq.com

采購類型:貨物類

開始時間:2022-11-23 14:51:00

項目預算(元):35,000.00

結束時間:2022-11-26 14:51:00

  二、資格條件

  資格條件:提供原廠代理和售后授權書視為有效報價

  三、商務要求

  付款方式:貨到驗收合同后20天內支付100%款項

  交付時間: 簽訂合同后10天送貨。

  交付地址: 華南師范大學南海校區行政樓。

  質保期及售后要求:驗收后一年

  其他要求:無

  報價人資格條件:提供原廠代理和售后授權書視為有效報價

  備注:

  各有關當事人對競價成交結果有異議的,可以在競價結果公告發布之日起3天內提起異議,逾期將視為無異議,不予受理。

  四、技術要求

  項目名稱:半導體科學技術研究院采購半導體學院采購真空等離子體處理儀

  產品信息

序號標的名稱數量單位品牌產品類別型號是否限定品牌技術要求
1真空等離子體處理儀1.0035000善準科技VP-S51、腔體材質:不銹鋼 2、*腔體容量(mm):Φ150x270 3、*射頻電源功率:300W 4、*射頻頻率:40KHz 5、頻率偏移量:小于0.2KHz 6、等離子體轟擊:從上往下 7、*腔體內溫度:<50℃ @180秒 8、清洗時間:0- 800S 可調 9、*功率調節:連續可調 10、顯示屏:4.3英寸觸摸屏 11、*操作控制:提供中英文操作界面,觸摸屏控制 12、氣體流量計:高精密2路浮子流量計 13、提供兩路進氣通路:流量 0-300ml/min可調(常用氣體:氬氣,氧氣,氮氣,氫氣,其他混合氣體) 14、進氣管:兩路,Φ6 15、泄壓:清洗完成自動泄壓,泄壓時長可調。可提供氮氣或其他氣體泄壓通道 16、噪音:≤56dB 17、抽真空時間:啟動到發出輝光≤45秒 18、*真空檢測:觸摸屏上有一鍵真空檢測功能,數字顯示 19、冷卻方式:風冷 20、腔體門:傳感器識別開/關,帶可視窗高強度鋁合金 21、*真空控制:主機與真空泵聯動,可在主機觸摸屏控制真空泵開啟/關閉 22、供電電源:AC220V/50Hz 23、箱體平衡:減震橡膠腳杯 24、外形尺寸LxWxH :不大于560x450x360mm 25、需提供原廠家授權書 26、配置:主機(VP-S5)、真空泵(VRD-4)、1.5米波紋管、清洗托盤、說明書、合格證、保修卡;外接氣管2根

技術要求:1、腔體材質:不銹鋼 2、*腔體容量(mm):Φ150x270 3、*射頻電源功率:300W 4、*射頻頻率:40KHz 5、頻率偏移量:小于0.2KHz 6、等離子體轟擊:從上往下 7、*腔體內溫度:<50℃ @180秒 8、清洗時間:0- 800S 可調 9、*功率調節:連續可調 10、顯示屏:4.3英寸觸摸屏 11、*操作控制:提供中英文操作界面,觸摸屏控制 12、氣體流量計:高精密2路浮子流量計 13、提供兩路進氣通路:流量 0-300ml/min可調(常用氣體:氬氣,氧氣,氮氣,氫氣,其他混合氣體) 14、進氣管:兩路,Φ6 15、泄壓:清洗完成自動泄壓,泄壓時長可調。可提供氮氣或其他氣體泄壓通道 16、噪音:≤56dB 17、抽真空時間:啟動到發出輝光≤45秒 18、*真空檢測:觸摸屏上有一鍵真空檢測功能,數字顯示 19、冷卻方式:風冷 20、腔體門:傳感器識別開/關,帶可視窗高強度鋁合金 21、*真空泵控制:主機與真空泵聯動,可在主機觸摸屏控制真空泵開啟/關閉 22、供電電源:AC220V/50Hz 23、箱體平衡:減震橡膠腳杯 24、外形尺寸LxWxH :不大于560x450x360mm 25、需提供原廠家授權書 26、配置:主機(VP-S5)、真空泵(VRD-4)、1.5米波紋管、清洗托盤、說明書、合格證、保修卡;外接氣管2根
售后服務:

  產品信息end

  五、附件

  附件信息

  序號   附件名稱   上傳時間   大小   操作

  附件信息end

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