【康沃真空網(wǎng)】反應(yīng)離子刻蝕機(jī)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。資金來(lái)源100%自籌資金。中科信工程咨詢(xún)（北京）有限責(zé)任公司（招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）受中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所（招標(biāo)人）的委托，對(duì)該項(xiàng)目進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)招標(biāo)采購(gòu)。
1. 招標(biāo)范圍
1.1 貨物名稱(chēng)：反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
1.2 招標(biāo)編號(hào)：0779-22400316A053
1.3 設(shè)備組成及技術(shù)性能：
1.3.1 設(shè)備組成
反應(yīng)離子刻蝕機(jī)可實(shí)現(xiàn)對(duì)SiO2、SiNx等介質(zhì)材料和硅的干法刻蝕。反應(yīng)離子刻蝕機(jī)主要由以下幾部分組成：反應(yīng)腔室、上電極、下電極、射頻源、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、預(yù)真空室、控制系統(tǒng)與軟件等。
1.3.2 技術(shù)性能
1.3.2.1 反應(yīng)腔室：至少5個(gè)真空法蘭接口：1個(gè)DN63觀察窗，1個(gè)接薄膜電容真空計(jì)，1個(gè)連接預(yù)真空室loadlock，2個(gè)備用。
1.3.2.2 上電極：上電極采用鉸鏈，開(kāi)腔時(shí)無(wú)需將整個(gè)反應(yīng)腔升起；上電極中央配置用于原位檢測(cè)的光學(xué)窗口。
1.3.2.3 射頻源：射頻發(fā)生器：頻率13.56 MHz，功率≥600 W；可預(yù)選和控制正向功率或直流偏置電壓；測(cè)量、顯示正向功率和直流偏置電壓。
1.3.2.4 真空系統(tǒng)：反應(yīng)腔室配有前級(jí)泵及渦輪分子泵；采用防腐蝕渦輪分子泵，抽速≥340 L/s；
1.3.2.5 氣路系統(tǒng)：氣路柜中的質(zhì)量流量計(jì)到反應(yīng)腔的距離不超過(guò)100 cm，以保證快速的氣體切換；
1.3.2.6 預(yù)真空室Loadlock：配置氣動(dòng)傳送機(jī)構(gòu)和透明上蓋，自動(dòng)、平穩(wěn)地裝卸樣品；配置單獨(dú)的干泵和真空計(jì)，本底真空≤10-1 mbar；真空漏率<5×10-4 mbar?L/s。腔室可單獨(dú)用氮?dú)獯祾摺?/p>
1.4 數(shù)量：1臺(tái)（套）。
1.5 交貨期：合同簽訂后8個(gè)月內(nèi)交貨。
1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)：中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所。
2. 對(duì)投標(biāo)人的資格要求
2.1 投標(biāo)人具有獨(dú)立法人資格，提供有效的營(yíng)業(yè)登記等許可經(jīng)營(yíng)的證明文件。
2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供授權(quán)書(shū)。
2.3本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)購(gòu)買(mǎi)招標(biāo)文件并進(jìn)行登記才具有投標(biāo)資格；接受委托參與項(xiàng)目前期咨詢(xún)和招標(biāo)文件編制的法人或其他組織不得參加投標(biāo)。
3. 招標(biāo)文件獲取
3.1凡有意參加投標(biāo)者，請(qǐng)于2022年9月5日至2022年9月13日17時(shí)(北京時(shí)間)，將招標(biāo)文件購(gòu)買(mǎi)費(fèi)用支付至中科信工程咨詢(xún)（北京）有限責(zé)任公司（開(kāi)戶(hù)行：華夏銀行北京西客站支行；帳號(hào)：10235000000047830）后登錄航空工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)上傳匯款底單和下載招標(biāo)文件,現(xiàn)場(chǎng)不予受理。如有疑問(wèn)，請(qǐng)致電航空工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)服務(wù)熱線400-890-0880。
3.2 招標(biāo)文件售價(jià)800元，售后不退。
3.3 投標(biāo)人必須在航空工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)電子招投標(biāo)專(zhuān)區(qū)注冊(cè)，辦理CA數(shù)字證書(shū)與電子簽章，否則無(wú)法投標(biāo)。（詳見(jiàn)航空工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)電子招投標(biāo)專(zhuān)區(qū)相關(guān)說(shuō)明）。
4. 投標(biāo)文件的遞交
4.1投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間（投標(biāo)截止時(shí)間，下同）為2022年9月26日13時(shí)30分，投標(biāo)人必須在此時(shí)間前將加密的電子版投標(biāo)文件傳至航空工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)電子招投標(biāo)專(zhuān)區(qū)并在此時(shí)間前現(xiàn)場(chǎng)遞交單獨(dú)密封的紙質(zhì)版投標(biāo)文件。
4.2 紙質(zhì)版投標(biāo)文件遞交地點(diǎn)為北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路交叉口東南角88號(hào)大樓一層會(huì)議室。逾期送達(dá)的、未送達(dá)指定地點(diǎn)的或者不按照招標(biāo)文件要求密封的投標(biāo)文件，招標(biāo)人將予以拒收。
5發(fā)布公告的媒介
本次招標(biāo)公告同時(shí)在航空工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)電子招投標(biāo)專(zhuān)區(qū)、中招聯(lián)合招標(biāo)采購(gòu)平臺(tái)、中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)和中國(guó)招標(biāo)投標(biāo)公共服務(wù)平臺(tái)上發(fā)布。
6.聯(lián)系方式
招標(biāo)人名稱(chēng)：中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所
地址：北京市海淀區(qū)太舟塢
聯(lián)系人：王賽
電話(huà)：010-62459043
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)名稱(chēng)：中科信工程咨詢(xún)（北京）有限責(zé)任公司
地址：北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角88號(hào)大樓
售賣(mài)聯(lián)系人：劉女士
電話(huà)：010-88529059
郵箱：zhaobiaobu@zonkex.com
2022年9月5日
