中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線項目第十六批---真空封焊爐國際招標
上海機電設(shè)備招標有限公司受招標人委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進行國際公開競爭性招標，于2020-09-07在中國國際招標網(wǎng)公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式，現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:中芯集成電路制造（紹興）有限公司計劃為中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線購買一批設(shè)備
資金到位或資金來源落實情況:現(xiàn)招標人資金已到位
項目已具備招標條件的說明:具備了招標條件
2、招標內(nèi)容
招標項目編號:0613-204522153369/06
招標項目名稱:中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線項目第十六批---真空封焊爐
項目實施地點:中國浙江省
招標產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
3、投標人資格要求
投標人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:1）具有獨立的法人資格，相應(yīng)的經(jīng)營范圍。投標方應(yīng)具有正規(guī)注冊的辦事處、維修站及零備件保稅庫。在中國境內(nèi)應(yīng)有專門負責(zé)的經(jīng)驗豐富的維修工程師和專門的技術(shù)應(yīng)用支持工程師。 2）投標人提供的設(shè)備需要在業(yè)界有安裝使用的經(jīng)驗 。
是否接受聯(lián)合體投標:不接受
未領(lǐng)購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領(lǐng)購開始時間:2020-09-07
招標文件領(lǐng)購結(jié)束時間:2020-09-14
是否在線售賣標書:否
獲取招標文件方式:現(xiàn)場領(lǐng)購
招標文件領(lǐng)購地點：上海市長壽路285號恒達大廈16樓上海機電設(shè)備招標有限公司
招標文件售價:￥500/$80
5、投標文件的遞交
投標截止時間（開標時間）:2020-09-28 09:30
投標文件送達地點:上海市長壽路285號恒達廣場22樓
開標地點:上海市長壽路285號恒達廣場22樓
6、投標人在投標前應(yīng)在必聯(lián)網(wǎng)（https://www.ebnew.com）或機電產(chǎn)品招標投標電子交易平臺（https://www.chinabidding.com）完成注冊及信息核驗。
7、聯(lián)系方式
招標人:中芯集成電路制造（紹興）有限公司
地址:中國浙江省紹興市越城區(qū)皋埠鎮(zhèn)臨江路518號
聯(lián)系人:李曉玲 宮青芝 梁爽
聯(lián)系方式:0575-88060000-62339
招標代理機構(gòu):上海機電設(shè)備招標有限公司
地址:上海市長壽路285號16樓
聯(lián)系人:王鼎 應(yīng)秋祺 潘永亮
聯(lián)系方式:021-32557721
1、招標條件
項目概況:中芯集成電路制造（紹興）有限公司計劃為中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線購買一批設(shè)備
資金到位或資金來源落實情況:現(xiàn)招標人資金已到位
項目已具備招標條件的說明:具備了招標條件
2、招標內(nèi)容
招標項目編號:0613-204522153369/06
招標項目名稱:中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線項目第十六批---真空封焊爐
項目實施地點:中國浙江省
招標產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
| 序號 | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡要技術(shù)規(guī)格 | 備注 |
| 1 | 回流機 | 1 | 通過高溫完成wafer回流工藝 | / |
| 2 | 深孔清洗機/光刻涂膠機/光刻顯影機/去膠清洗機/鈦銅刻蝕機 | 5 | 深孔清洗機/TSV Clean 實現(xiàn)深孔清洗機 光刻涂膠機/coating 實現(xiàn)光刻涂膠 光刻顯影機/developing 實現(xiàn)光刻顯影 去膠清洗機/PR Strip 通過化學(xué)品去膠工藝 鈦銅刻蝕機/Ti Cu seed remove 通過化學(xué)品實現(xiàn)鈦銅刻蝕 | / |
| 3 | 電鍍機 | 1 | 電鍍 | / |
| 4 | 高真空離子鍍膜金屬濺射機 | 1 | 實現(xiàn)片內(nèi)高均勻性的薄膜沉積(Ti/Cu CVD) | / |
| 5 | 去膠機 | 1 | 去膠 | / |
| 6 | 真空封焊爐 | 1 | 1.溫度：可支持500℃高溫； 2.設(shè)備UPH：≥20； 3.控溫精度：±3℃； 4.極限真空：≤10-6mbar； 5.a.陶瓷管殼載盤降溫速率不得低于0.25K/s（200℃條件下）；b.鍺窗載盤的降溫速率不得低于0.4K/s（200℃條件下）; 6.真空條件下，鍺窗載盤保持360℃&20min，陶瓷載盤溫度≤140℃; | / |
| 7 | RDL/PI 厚度量測機 | 1 | RDL/PI 厚度量測 | / |
| 8 | 光刻機 | 1 | 實現(xiàn)光刻曝光 | / |
3、投標人資格要求
投標人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:1）具有獨立的法人資格，相應(yīng)的經(jīng)營范圍。投標方應(yīng)具有正規(guī)注冊的辦事處、維修站及零備件保稅庫。在中國境內(nèi)應(yīng)有專門負責(zé)的經(jīng)驗豐富的維修工程師和專門的技術(shù)應(yīng)用支持工程師。 2）投標人提供的設(shè)備需要在業(yè)界有安裝使用的經(jīng)驗 。
是否接受聯(lián)合體投標:不接受
未領(lǐng)購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領(lǐng)購開始時間:2020-09-07
招標文件領(lǐng)購結(jié)束時間:2020-09-14
是否在線售賣標書:否
獲取招標文件方式:現(xiàn)場領(lǐng)購
招標文件領(lǐng)購地點：上海市長壽路285號恒達大廈16樓上海機電設(shè)備招標有限公司
招標文件售價:￥500/$80
5、投標文件的遞交
投標截止時間（開標時間）:2020-09-28 09:30
投標文件送達地點:上海市長壽路285號恒達廣場22樓
開標地點:上海市長壽路285號恒達廣場22樓
6、投標人在投標前應(yīng)在必聯(lián)網(wǎng)（https://www.ebnew.com）或機電產(chǎn)品招標投標電子交易平臺（https://www.chinabidding.com）完成注冊及信息核驗。
7、聯(lián)系方式
招標人:中芯集成電路制造（紹興）有限公司
地址:中國浙江省紹興市越城區(qū)皋埠鎮(zhèn)臨江路518號
聯(lián)系人:李曉玲 宮青芝 梁爽
聯(lián)系方式:0575-88060000-62339
招標代理機構(gòu):上海機電設(shè)備招標有限公司
地址:上海市長壽路285號16樓
聯(lián)系人:王鼎 應(yīng)秋祺 潘永亮
聯(lián)系方式:021-32557721
