序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
1 | 真空薄膜氣相沉積設備 | 2套 | 系統的極限壓強≤5×10^-7 Torr | 編號:0705-1940182008LT/01;預算金額:人民幣400萬元; |
2 | 測試源表探針臺 | 2套 | 不同頻率下的C-V測試,頻率范圍達到或優于:1K~10MHz | 編號:0705-1940182008LT/02;預算金額:人民幣600萬元; |
3 | 原子層沉積系統 | 2套 | 每個液態料源裝置均須配制循環水水浴裝置,以穩定低蒸發壓液態源溫度。水浴溫度須≤±2℃ | 編號:0705-1940182008LT/03;預算金額:人民幣300萬元; |