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硅基真空沉積系統(tǒng)已具備招標(biāo)條件，項(xiàng)目招標(biāo)人為中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所，資金為國撥，出資比例為100%，資金已落實(shí)。北京國科軍友工程咨詢有限公司（招標(biāo)機(jī)構(gòu)）受中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所（招標(biāo)人）的委托，現(xiàn)對該項(xiàng)目進(jìn)行國際公開招標(biāo)。

1.招標(biāo)產(chǎn)品的名稱、數(shù)量及主要技術(shù)參數(shù)

1.1貨物需求一覽表

1.2主要技術(shù)參數(shù)：

*3.1.1  IV族分子束外延生長室(主生長室)： 生長高質(zhì)量的硅鍺基阻擋雜質(zhì)帶結(jié)構(gòu)材料（如硅摻雜砷、硅摻雜鎵等。包括Si, Ge, Sn, As, Ga, B, P等各種源爐，真空泵系統(tǒng)，四極質(zhì)譜儀，原位監(jiān)控系統(tǒng)（RHEED系統(tǒng)等），和計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)（全自動生長）。

*3.1.2傳樣和預(yù)處理室，進(jìn)樣室。由于本實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)包含分子束外延腔和若干在線分析系統(tǒng)。需要有統(tǒng)一的真空傳樣系統(tǒng)， 該系統(tǒng)同時(shí)具有不同預(yù)處理功能（如熱處理，表面鈍化處理）。

*3.1.3生長室有超高真空， 具體為系統(tǒng)烘烤后降到室溫，未通液氮時(shí)，生長室真空  5x10-11 torr，預(yù)處理室真空度可達(dá)到2x10-10 torr；進(jìn)樣室30分鐘內(nèi)可從1 atm抽到10-7 torr，最后可達(dá)到2*10-8 torr（烘烤后）

*3.1.4 襯底加熱器最高溫度可達(dá)800°C，700°C控溫精度達(dá)到±0.5°C。源爐束流穩(wěn)定、可重復(fù)。顯示數(shù)值穩(wěn)定，末位數(shù)漲落〈±1；擋板開啟時(shí)束流波動〈2％。

*3.1.5 IV分子束外延系統(tǒng)，生長高質(zhì)量硅鍺基摻雜材料，及鍺硅，鍺錫等材料。用于制備3英寸材料。

1.3招標(biāo)編號：1473-194356H07238。

2.對投標(biāo)人的資格要求

2.1投標(biāo)人應(yīng)為獨(dú)立的法人機(jī)構(gòu)，能夠獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任，具有有效的營業(yè)執(zhí)照或有效的公司注冊登記證明材料。

2.2投標(biāo)人如為代理商，需提供最近時(shí)期制造商出具的授權(quán)證明。

2.3投標(biāo)人須提供其開戶銀行在開標(biāo)日期前三個(gè)月內(nèi)開具的資信證明原件或該原件的復(fù)印件。

2.4本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

2.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)機(jī)構(gòu)購買招標(biāo)文件并進(jìn)行登記才具有投標(biāo)資格。

3.招標(biāo)文件獲取

3.1凡有意參加投標(biāo)者，請于2019年11月4日至2019年11月11日（法定公休日、法定節(jié)假日除外），每日上午09時(shí)至11時(shí)，下午02時(shí)至04時(shí)（北京時(shí)間，下同）購買招標(biāo)文件。

3.2 招標(biāo)文件售價(jià)：每包1000元人民幣或150美元（招標(biāo)文件售后不退）。

3.3 購買招標(biāo)文件地點(diǎn)：北京市海淀區(qū)中關(guān)村南大街31號8號樓二層210室。

3.4 可于發(fā)售期內(nèi)，通過電話或郵件聯(lián)系招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)咨詢購買標(biāo)書事宜。

4.投標(biāo)文件的遞交

4.1 投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間（投標(biāo)截止時(shí)間，下同）為2019年11月27日09時(shí)00分，地點(diǎn)為上海市玉田路500號15號樓111會議室。

4.2 逾期送達(dá)的或者未送達(dá)指定地點(diǎn)的投標(biāo)文件，招標(biāo)人不予受理。

5.開標(biāo)

5.1 開標(biāo)時(shí)間為2019年11月27日09時(shí)00分，開標(biāo)地點(diǎn)為上海市玉田路500號15號樓111會議室。

6.發(fā)布公告的媒介

本次招標(biāo)公告在中國國際招標(biāo)網(wǎng)、機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺、中國招標(biāo)投標(biāo)公共服務(wù)平臺（http://www.cebpubservice.com/）上發(fā)布。

7.監(jiān)督部門

中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所紀(jì)檢監(jiān)察審計(jì)辦公室

8.聯(lián)系方式