序號 | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡要技術(shù)規(guī)格 | 備注 |
1 | 中低溫真空管路加熱帶/Middle-low Temperature Heat Jacket of Pumpingline | 92根 | 滿足12英寸集成電路生產(chǎn)企業(yè)的28nm工藝研發(fā)和量產(chǎn)要求,用于中低溫真空管路加熱/ Meet the requirement of /Heat Jacket of Middle-low Temperature Pumpingline of 28nm |