包號(hào) |
采購(gòu)內(nèi)容 |
數(shù)量 |
交貨期 |
交貨地點(diǎn) |
采購(gòu)需求 |
01 |
高真空雙室磁控濺射機(jī) |
1套 |
合同簽訂后4 個(gè)月內(nèi)完成安裝調(diào)試并最終驗(yàn)收合格。 |
北京,北京航空航天大學(xué)指定地點(diǎn) |
1、 磁控濺射真空腔室:腔體為304不銹鋼,直徑尺寸不低于φ400mm*400mm,配觀察窗,預(yù)留進(jìn)樣室接口; 2、 真空泵:機(jī)械泵+分子泵; 3、 濺射源:不少于3個(gè)靶; 4、 具有單獨(dú)濺射、輪流濺射、共濺射功能等; |