包號 |
采購內容 |
數量 |
交貨期 |
交貨地點 |
采購需求 |
01 |
高真空雙室磁控濺射機 |
1套 |
合同簽訂后4 個月內完成安裝調試并最終驗收合格。 |
北京,北京航空航天大學指定地點 |
1、 磁控濺射真空腔室:腔體為304不銹鋼,直徑尺寸不低于φ400mm*400mm,配觀察窗,預留進樣室接口; 2、 真空泵:機械泵+分子泵; 3、 濺射源:不少于3個靶; 4、 具有單獨濺射、輪流濺射、共濺射功能等; |