| 所屬地區(qū) | 上海市 | 加入日期 | 2015年10月16日 |
正文內(nèi)容
上海工程技術(shù)大學(xué)
材料工程學(xué)院多功能真空實(shí)驗(yàn)儀設(shè)備
項(xiàng)目名稱：材料工程學(xué)院多功能真空實(shí)驗(yàn)儀設(shè)備采購項(xiàng)目
招標(biāo)方：上海工程技術(shù)大學(xué)資產(chǎn)處
2015年10月16日
招標(biāo)文件
招標(biāo)項(xiàng)目名稱：材料工程學(xué)院多功能真空實(shí)驗(yàn)儀設(shè)備采購項(xiàng)目
一、 投標(biāo)邀請
招標(biāo)方式：
受用戶委托和對采購項(xiàng)目的要求，本職能處室對仙霞路校區(qū)舞蹈房地板及鋪設(shè)采購項(xiàng)目進(jìn)行材料工程學(xué)院多功能真空實(shí)驗(yàn)儀設(shè)備采購項(xiàng)目公開招標(biāo)。具體技術(shù)要求見附件。
茲邀請合格投標(biāo)人以密封標(biāo)書的形式前來投標(biāo)，標(biāo)書一式二份，用單獨(dú)的信封密封，并在信封上標(biāo)明投標(biāo)單位及投標(biāo)項(xiàng)目名稱，為確保標(biāo)書的時效性和可行性，以專人送達(dá)為宜。
1． 投標(biāo)地點(diǎn)：上海工程技術(shù)大學(xué)資產(chǎn)處物資供應(yīng)中心（行政樓B111室）
2． 投標(biāo)截止時間：2015年10月22日12：00，逾期收到或不符合規(guī)定的投標(biāo)文件不予接受。
3． 開標(biāo)時間和地點(diǎn)：2015年10月下旬，采取公開開、評標(biāo)，地點(diǎn)：校資產(chǎn)處。
4． 開、評標(biāo)結(jié)果由資實(shí)處具體人員通知投標(biāo)單位。
5． 凡需對本次招標(biāo)提出咨詢的供應(yīng)商，請?jiān)?015年10月22日前與資產(chǎn)處物資供應(yīng)中心聯(lián)系。
6． 本招標(biāo)方地址：上海市龍騰路333號 郵編：201620
7． 聯(lián)系人：冷老師 電話：67791207
附： 招標(biāo)要求
適用范圍 多功能真空實(shí)驗(yàn)儀由機(jī)械泵+分子泵構(gòu)成的高真空實(shí)驗(yàn)平臺，采用玻璃真空室，通過玻璃真空室能清晰地觀察到蒸發(fā)、濺射等物理現(xiàn)象的全過程；并能實(shí)現(xiàn)薄膜制備。
可開設(shè)的實(shí)驗(yàn)：
1、真空的獲得與測量；2、蒸發(fā)法薄膜制備 ；3直流濺射法薄膜制備
真空室 鍍膜室尺寸 Φ300mm×360mm 高強(qiáng)度硼硅玻璃鐘罩；
結(jié)構(gòu) 鐘罩式結(jié)構(gòu)，底盤抽氣系統(tǒng)
抽氣系統(tǒng) 機(jī)械泵 前級泵 2ZX-4直聯(lián)泵 一臺
分子泵 FF160/600分子泵 一臺
蒸發(fā)組件 蒸發(fā)電源 （1.5KW/10V）1組
蒸發(fā)電極 無氧銅電極2組?。ㄇ袚Q蒸發(fā)），配有交叉防污染板
蒸發(fā)擋板 采用磁力耦合傳動
濺射組件 濺射靶 ф50(磁控濺射靶 直流、射頻兼容)
濺射電源 開環(huán)電壓：DC 0～1000V/1A； 工作電壓400～800V
射頻電源 300W射頻電源，頻率13.56MHZ，
樣品臺 可鍍膜尺寸： z*大120mm；基片臺可按要求定制；
操作方式 手動按鍵式
工件烘烤 室溫—300℃（PID控制）
恢復(fù)真空 2×10-3 Pa（小于40min）
極限真空 8×10-5Pa
真空顯示 ◇數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)（成都正華）：一低一高
◇（一路）熱偶規(guī)： 1.0x103Pa ---1.0x10-1Pa
◇（一路）電離規(guī)： 1.0x10-1Pa ---1.0x10-5Pa
設(shè)備控制 ◇供電：220V/50Hz單相三線制供電系統(tǒng)。設(shè)備和電器控制柜接地線
◇配置國際標(biāo)準(zhǔn)電源柜，其上裝有：總控制電源1臺、數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)1臺、加熱溫控電源1臺、分子泵控制電源1臺，蒸發(fā)電源1臺，濺射電源1臺。
◇整機(jī)配有水流報警系統(tǒng)，在水壓不夠或斷水時報警，并切斷分子泵電源等；
◇采用獨(dú)立式電控柜，帶獨(dú)立滾輪，方便維修。
◇電氣元件：主要采用法國施耐德品牌或韓國 LG 品牌產(chǎn)品，產(chǎn)品故障率低。
其他 技術(shù)服務(wù)及質(zhì)量保證：
◇提供該設(shè)備的技術(shù)使用說明書及外購配件儀器儀表說明書；
◇提供該設(shè)備的設(shè)計(jì)總體圖及部件總圖，供采購人存檔及維修使用；
◇組裝調(diào)試：成套設(shè)備出廠前在工廠所在地進(jìn)行組裝調(diào)試，達(dá)到技術(shù)要求；拆裝運(yùn)輸至使用方所在地后，進(jìn)行第二次組裝調(diào)試，并符合生產(chǎn)要求，由使用方在一星期內(nèi)對裝置本體進(jìn)行驗(yàn)收。
說明
1、 真空室玻璃全透明，能清晰地觀察到蒸發(fā)、濺射等物理現(xiàn)象的全過程；
2、 工件溫度能夠精確控制（常溫到300度以內(nèi)）
3、 蒸鍍時可以精確控制電壓大小
4、 磁控濺射靶2個，一個是電子磁控濺射靶，一個是射頻磁控濺射靶
5、 要有通氬氣的接口
6、 抽氣時間要求3 x10-4Pa，一小時內(nèi)達(dá)到
7、 可以實(shí)現(xiàn)金屬、陶瓷、有機(jī)物等的鍍膜。
