基本信息
招標(biāo)編號：清設(shè)招第2015005號
加入日期：2015.01.13
截止日期：2015.01.23
招標(biāo)業(yè)主：清華大學(xué)
地 區(qū)：北京市
招標(biāo)公告正文
購置“快速真空熱退火爐”招標(biāo)項(xiàng)目報(bào)名公告
招標(biāo)項(xiàng)目編號：清設(shè)招第2015005號
清華大學(xué)擬對購置“快速真空熱退火爐”進(jìn)行招標(biāo)，歡迎具有相應(yīng)資質(zhì)的單位報(bào)名參與投標(biāo)。項(xiàng)目情況及相關(guān)要求如下：
一、項(xiàng)目簡介
清華大學(xué)交叉信息研究院購置“快速真空熱退火爐”一臺，用于襯底和器件快速真空熱退火。
二、招標(biāo)內(nèi)容
快速真空熱退火爐一臺，主要技術(shù)指標(biāo)要求如下：
1、樣片尺寸：可放2～4英寸硅片及不規(guī)則樣品
2、四條工藝氣路，包括氮?dú)?、氧氣、氮?dú)浜蜌鍤?每條氣路配置一個(gè)氣體流量計(jì)(MFC)
3、采用紅外燈絲加熱，功率20KW左右
4、退火爐可進(jìn)行上下同時(shí)加熱，或上下單獨(dú)加熱
5、腔體真空度 ≤ 10-3 mbar
6、z*高退火溫度 ≥1200°C
7、溫度均勻性 ≤ ±1%
8、溫度升溫速率達(dá)到150K/每秒
9、退火過程可程序控制
三、資格預(yù)審要求
1、投標(biāo)商具有獨(dú)立法人資格(提供投標(biāo)單位營業(yè)執(zhí)照復(fù)印件，加蓋公章);
2、投標(biāo)商代表人有針對本項(xiàng)目的法人代表授權(quán)委托書(原件);
3、不同時(shí)為制造商的投標(biāo)商應(yīng)提供對此次招標(biāo)項(xiàng)目的制造商授權(quán)書(原件)。
4、投標(biāo)企業(yè)資質(zhì)證明、及其它相關(guān)材料(復(fù)印件，加蓋公章);
5、年度銷售業(yè)績(提供同類產(chǎn)品用戶名單，加蓋公章);
報(bào)名時(shí)需提交以上資料，同時(shí)附上準(zhǔn)備投標(biāo)產(chǎn)品的品牌、型號以及該產(chǎn)品與本招標(biāo)公告所開列的主要技術(shù)要求相對應(yīng)的指標(biāo)參數(shù)或文字表述。招標(biāo)單位根據(jù)以上證明資料進(jìn)行資格預(yù)審，招標(biāo)人將從資格預(yù)審?fù)ㄟ^者中遴選邀請對象，未被邀請者恕不另行通知。
四、報(bào)名時(shí)間與地點(diǎn)
報(bào)名時(shí)間： 2015年1月13日-2015年1月23日
(每天上午8:30-11:30，下午1:30-4:30，節(jié)假日休息)
報(bào)名方式：請將招標(biāo)項(xiàng)目編號、投標(biāo)公司名稱、聯(lián)系人和聯(lián)系方式以電子郵件正文形式發(fā)送至 sys-zb@tsinghua.edu.cn;2015年1月23日(僅限當(dāng)日)投標(biāo)商授權(quán)代表人(本人)提交紙質(zhì)報(bào)名資料。
紙質(zhì)資料提交地點(diǎn)：清華大學(xué)實(shí)驗(yàn)室與設(shè)備處9號樓215室
(上午8:30-11:30，下午1:30-4:30)
五、聯(lián)系方式
聯(lián) 系人：王老師
聯(lián)系電話：010-62785713，6289528
Email: sys-zb@tsinghua.edu.cn
