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凝聚態(tài)物理的方向之一就是圍繞新材料體系（包括低維和納米材料以及功能器件）的電學，光學，以及磁學特性展開。電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)主要用于納米和微米器件加工，用于高質量、厚度被控制精確的金屬和氧化物薄膜的生長，主要生長的金屬薄膜包括：鈀、鈦、鋁、金、鉑、鈮等金屬單質，以及部分氧化物。該設備屬于高精尖產(chǎn)品，將在科研工作中發(fā)揮著重要作用。

主機主要由以下幾部分構成：鍍膜主真空腔、真空系統(tǒng)、真空閥系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、電子束沉積系統(tǒng)、預真空室、膜厚檢測系統(tǒng)、控制系統(tǒng)。

(1) 鍍膜主真空腔

不銹鋼腔體，設備采用不銹鋼雙腔室，即蒸發(fā)室和樣品室，并用插板閥隔開，腔體門采用膠圈密封，配有觀察窗，相應的泵、真空計接口、預真空室接口（帶等離子清洗），以及備用法蘭接口，極限真空度優(yōu)于10-9Torr。

(2) 真空系統(tǒng)

主泵采用冷凝泵（需要國外知名品牌），粗抽泵采用干泵；抽速不低于1500升/秒的低溫泵及插板閥，抽速大于7升/秒的無油機械泵；樣品室還需單配分子泵和插板閥；鍍膜室和預真空室均配有高、低真空計，粗抽管道配有皮拉尼計。

(3)真空閥系統(tǒng)

主泵和腔體配有高真空閥門，鍍膜室和預真空室間配有隔離閥，粗抽管道閥門，充氣閥門等必要的閥門。所有閥門均采用氣動并實現(xiàn)計算機控制。樣品可在樣品室內進行氧化工藝處理。

(4)水冷系統(tǒng)

系統(tǒng)需要冷卻的部件必須水冷，如電子束源，冷凝泵等，并且配備必須的安全互鎖設計，以保護設備。需要提供循環(huán)冷卻水箱。

(5)電子束沉積系統(tǒng)

6KW電源，帶有變壓器和控制器，程序化束斑掃描器，（需要為世界著名廠商），產(chǎn)品一套大于（或等于）6個旋轉電子束蒸發(fā)源，可手動或者自動旋轉并編程控制蒸發(fā)坩堝位置，配有氣動擋板，方便更換材料。一個電子發(fā)射槍，其發(fā)射功率連續(xù)可調，保證鈀、鈧、鋁、金、鉑等金屬，非金屬材料(Al2O3等氧化物、介質材料等)都可以從0.1A/s到5A/s速度蒸鍍。配置INFICON晶振膜厚監(jiān)控儀，能自動控制鍍膜速率、薄膜厚度并和擋板和蒸發(fā)電源相關聯(lián)；蒸發(fā)鍍膜均勻性：≤±2% (φ2 寸硅片范圍內)；鍍膜過程中基片溫度不超過100度。

(6)預真空室（Load Lock chamber）

不銹鋼結構，2”單基片裝載能力，必須帶有可同時自動和手動控制的氣動閥門。

(7)膜厚檢測系統(tǒng)

兩個晶振探頭，另一個備用，都和計算機實現(xiàn)通訊，可以通過計算機檢測鍍膜的速度和厚度，可自動控制或編程控制電子束蒸發(fā)源、鍍膜工藝參數(shù)及控制蒸發(fā)源擋板，鍍膜速度控制可以達到0.1A/s。

(8)控制系統(tǒng)

計算機控制腔體抽真空及充氣，冷凝泵再生，電子束蒸發(fā)源，基片旋轉等；旋轉工作臺#1，轉速0-20rpm，計算機控制可調；傾角工作臺#2，計算機控制可調傾角，并可液氮冷卻

計算機可實現(xiàn)編程鍍膜，一鍵式操作，多級用戶權限設計，用戶記錄和數(shù)據(jù)導出。

當個別不影響鍍膜過程的部件出現(xiàn)問題（如兩個膜厚儀中的一個，或某個可以手動的閥門的自動開關功能），計算機控制系統(tǒng)應允許手動鍍膜。

     寬量程真空計（含皮拉尼計和離子規(guī)），測量范圍從大氣壓到高真空, 低溫泵和腔體之間配高真空插板閥, 一個6坩堝位（每坩堝位容量為7CC）超高真空線性導位電子束蒸發(fā)源（含所有饋穿件）, 氣動蒸發(fā)源擋板, 自動坩堝位導位, 6千瓦電子束槍和電源為國外知名品牌, 束斑掃描器,薄膜沉積速率控制儀帶有一個標準晶振探頭, PID工藝氣體壓力控制包括一個流量計和一個壓力計。

1.交貨要求

1.1交貨期的要求：簽訂合同后 120   天（日歷日）內。

1.2投標人必須承擔的設備運輸、安裝調試、驗收檢測和提供設備操作說明書、圖紙等其他類似的義務。

2.售后服務的要求

2.1貨物免費保修期貳年，時間自z*終驗收合格并交付使用之日起計算。在保修期內，一旦發(fā)生質量問題，投標人保證在接到通知24小時內趕到現(xiàn)場進行修理或更換。

2.2投標人應按其投標文件中的承諾，進行其他售后服務工作。

3.關于驗收

3.1投標人貨物經(jīng)過雙方檢驗認可后，簽署驗收報告，產(chǎn)品保修期自驗收合格之日起算，由投標人提供產(chǎn)品保修文件。

3.2當滿足以下條件時，采購人才向中標人簽發(fā)貨物驗收報告：

a、中標人已按照合同規(guī)定提供了全部產(chǎn)品及完整的技術資料。

b、貨物符合招標文件技術規(guī)格書的要求，性能滿足要求。

c、貨物具備產(chǎn)品合格證。

4.保修期內，任何由制造商選材和制造不當引起的質量問題，廠家負責免費維修。保修期自驗收簽字之日起計算。保修期滿前1個月內賣方應負責一次免費全面檢查，并寫出正式報告，如發(fā)現(xiàn)潛在問題，應負責排除。

5.維修響應時間：賣方應在24小時內對用戶的服務要求做出響應，一般問題在48小時內解決，重大問題或其它無法立刻解決的問題應在一周內解決或提出明確的解決方案，否則賣方應賠償相應的損失。

序號	評分項				權重
1	價格				≥30
2	技術部分				53-58
	序號	評分因素	權重	評分方式	評分準則
	1	技術保障措施	2	專家打分	在投標文件中詳細說明保障措施，評標委員會根據(jù)響應情況進行橫向比較，按優(yōu)81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。
	2	交貨期（完工期）	2	專家打分	在投標文件中詳細說明交貨期（完工期），評標委員會根據(jù)響應情況進行橫向比較，按優(yōu)81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。
	3	售后服務承諾	10	專家打分	評標委員會根據(jù)投標文件中售后服務承諾情況進行橫向比較，按優(yōu)81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。不滿足招標文件要求的得0分。
	4	技術響應情況	43	專家評分	在投標文件中詳細說明響應情況，評標委員會根據(jù)響應情況按優(yōu)81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。
3	綜合實力部分				4-5
	序號	評分因素	權重	評分方式	評分準則
	1	投標人近三年同類業(yè)績	1	專家評分	提供3個同類業(yè)績即得滿分，提供2個得60分，提供1個得30分，未提供的不得分。投標人必須在投標文件中提供每一個完工項目的合同和驗收報告，否則不得分。
	2	社保情況	1	專家評分	請?zhí)峁┙齻€月社保證明書掃描件，原件備查。根據(jù)總人數(shù)評分：優(yōu)81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。未提供的得0分。
	3	納稅情況	1	專家評分	請?zhí)峁┙荒甓燃{稅證明掃描件，原件備查。根據(jù)納稅總金額評分：優(yōu)81-100分；良61-80分；中31-60；差0分。未提供的得0分。
	4	獎勵、獎項、資質、資格 （可選）	1	專家評分	請?zhí)峁┆剟钭C明掃描件，原件備查。橫向比較優(yōu)81-100分；良61-80分；中31-60；差0分。未提供的得0分。
4	供應商社會責任				8-10
	序號	評分因素	權重	評分方式	評分準則
	1	公益慈善	1	專家評分	提供近3年社會公益慈善和見義勇為情況證明材料，未提供的不得分。
	2	不良行為記錄	1	專家評分	深圳企業(yè)信用網(wǎng)和政府采購行政處罰記錄查詢企業(yè)不良記錄，有不良記錄的不得分，沒有不良記錄的得滿分。
	3	履約評價	5	專家評分	根據(jù)投標人提交的履約評價及中心履約評價庫中資料打分。優(yōu)得100分，良得80分，中的60分，差的0分。
	4	環(huán)保執(zhí)行情況	1	專家評分	近三年有一次受到環(huán)境主管部門處罰的得0分，無處罰的得滿分。投標人提交承諾函，若虛假應標將被廢標并報主管部門處理。
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