【康沃真空網】針對日益嚴重的環(huán)境和能源形勢，中國在第七十五屆聯合國大會上莊嚴提出：中國的二氧化碳排放力爭于2030年前達到峰值、2060年實現碳中和，即所謂的“雙碳”目標。光伏產業(yè)即是其中的重要一環(huán)，人類利用太陽能光伏電池發(fā)電以來，技術先后經過了多次迭代，目前以第三代的異質結電池為主。
▲圖1：光伏技術路線發(fā)展及迭代
太陽能電池板作為光伏發(fā)電設施的核心部件，它核心的半導體材料有：單晶硅、多晶硅、非晶硅及碲化鎘等。但其中無論是哪種類型，電池的生產過程的多個環(huán)節(jié)都需要用到真空技術?？梢哉f沒有真空，就不可能有可再生能源。
例如，當前市場主流的晶硅電池的發(fā)展趨勢是優(yōu)化電池背面的反射層，以增加電池內部的吸收（PERC-發(fā)射極及背面鈍化電池技術）。PERC層是由PECVD或ALD工藝經過額外的薄膜沉積而形成，其中的PECVD或ALD工藝需要真空一般為10-3hPa~10-5hPa。
第三代的異質結太陽能電池，結合了多種太陽能電池技術的優(yōu)勢，例如，將太陽能晶圓裝入真空室，進行數道PVD和PECVD工藝，以生成多層太陽能電池。減少薄膜沉積材料消耗，提高晶體硅電池的高效率。沉積工藝的不同，獲得的薄膜層也不一樣，但所需真空大致相似，約為10-3hPa~10-5hPa。
▲圖2：晶硅太陽能電池片工藝
▲圖3：非晶硅薄膜電池片生產工藝
上述太陽能電池工藝都需要無碳的潔凈真空環(huán)境，同時由于電池層表面積較大，因此太陽能電池的生產環(huán)節(jié)對真空泵的抽速和潔凈度也提出了越來越高的要求。
鑒于此，歷時多年，中科九微先后攻克雙軸電機同步驅動技術、漸變螺桿的精密加工技術、特殊表面處理工藝等技術難關，并在2023年成功推出抽速高達2200m3/h和3000m3/h的節(jié)能干式真空泵，對應型號分別為SSH2220H和SSH3020H。
▲圖4：SSH3020H節(jié)能干式真空泵
SSH2220H、SSH3020H節(jié)能干式真空泵是光伏電池、平板顯示器、半導體生產等苛刻工藝以及眾多工業(yè)鍍膜應用的理想之選。
工作過程中，被抽介質經羅茨泵兩級壓縮后傳輸到螺桿泵，再由一對螺桿轉子沿著相反方向旋轉，將泵送的介質吸入泵腔和螺桿之間，經壓縮后輸送至排氣口。在此過程中，螺桿轉子間不會相互接觸，也不與泵腔接觸。
本次新推出的兩款產品，融合了中科九微多年的技術積淀，具有抽速大、體積小、節(jié)能明顯和耐粉塵能力強等諸多優(yōu)點：
螺桿轉子
變螺距，連續(xù)壓縮，更節(jié)能
羅茨轉子
兩級壓縮，抽速快、壓比高
同步電機
變頻驅動，智能調速
苛刻制程
耐腐蝕涂層（H版本）
應用領域：光伏、鍍膜、平板、半導體、干燥
附：SSH系列技術參數：
