持續(xù)運(yùn)行十三年。這相當(dāng)于以 50Hz 運(yùn)轉(zhuǎn) 211 億轉(zhuǎn)以上。2018 年 1 月中旬，COBRA BC 干式螺桿真空泵在一家德國半導(dǎo)體制造廠創(chuàng)下了這一非凡的里程碑，佐證了其在堅(jiān)固性、可靠性和低維護(hù)方面長期享有的美譽(yù)。
自 2005 年以來，這臺(tái) COBRA BC 真空泵在德國德累斯頓的 GlobalFoundries 生產(chǎn)廠 Fab 1 連續(xù)運(yùn)行，是這里運(yùn)行時(shí)間最長的 COBRA BC 真空泵。德累斯頓的 Fab 1 是全球首家工業(yè)化量產(chǎn)制造銅線微芯片的生產(chǎn)基地，該技術(shù)現(xiàn)在是全球半導(dǎo)體生產(chǎn)的基礎(chǔ)。
德累斯頓基地安裝了總計(jì) 194 臺(tái) COBRA BC 0100 干式螺桿真空泵，用于半導(dǎo)體工業(yè)中的
300 mm 晶片生產(chǎn)。其中 47 臺(tái) COBRA BC 已經(jīng)連續(xù)運(yùn)行 10 多年，22 臺(tái) COBRA BC 已經(jīng)達(dá)到運(yùn)行 100,000 小時(shí)（運(yùn)行 11 年以上）的里程碑。一般來說，在負(fù)載鎖定應(yīng)用中，連續(xù)運(yùn)行超過五年或六年就已經(jīng)是行業(yè)的預(yù)期了。
COBRA BC 真空泵主要用于外延和物理氣相沉積（PVD）工藝的真空進(jìn)樣室應(yīng)用，以及在其他無塵流程中的晶片處理和標(biāo)準(zhǔn)衡量，以此確保光刻工藝的質(zhì)量。
COBRA BC 0100 F 是久經(jīng)考驗(yàn)的 COBRA BC 系列產(chǎn)品組合中的干式螺桿真空泵，處理能力更加強(qiáng)大，可以為要求最為苛刻的太陽能、平板顯示器和半導(dǎo)體應(yīng)用提供世界一流的緊湊型、高負(fù)荷和大流量真空進(jìn)樣室解決方案。因其獨(dú)特的螺桿泵設(shè)計(jì)，該真空泵具備卓越的粉塵處理能力。
COBRA BC 系列也提供 COBRA BC Premium Efficiency 級(jí)產(chǎn)品，能耗足跡更低，因此耗電量的下降可高達(dá) 40%。Premium Efficiency 級(jí)產(chǎn)品基于久經(jīng)考驗(yàn)的 COBRA BC 技術(shù)平臺(tái)。
普旭（Busch）在德累斯頓擁有一支服務(wù)團(tuán)隊(duì)，包括九名技術(shù)服務(wù)人員和一位團(tuán)隊(duì)主管，提供每天 24 小時(shí)、每周 7 天的全天候服務(wù)，確保了已安裝的數(shù)百臺(tái) 普旭（Busch）真空泵極高的系統(tǒng)使用率。另外，該服務(wù)團(tuán)隊(duì)還提供廢氣凈化系統(tǒng)維護(hù)服務(wù)。
GlobalFoundries 是全球頂級(jí)半導(dǎo)體公司之一，在德累斯頓的生產(chǎn)基地生產(chǎn) 40nm 至 22 nm 的工藝節(jié)點(diǎn)。其德累斯頓生產(chǎn)基地是歐洲生產(chǎn)微芯片的最大生產(chǎn)基地。
