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為生產450毫米晶圓鋪平道路
標簽: 普旭真空
2015-09-24  閱讀

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半導體事業(yè)部(Semicon)的業(yè)務開發(fā)與產品經理 Paul Alers 于 2015 年 8 月 20 日參加了美國西部半導體展 (SEMICON West) 旗下的一個專題研討會,名為“今日 F450C:開發(fā)未來的工業(yè)解決方案”

為生產450毫米晶圓鋪平道路

真空和集中式系統(tǒng)是半導體晶圓生產線中必不可少的組成部分。

專題研討會的主題為 450 毫米半導體晶圓生產線的研發(fā)。該專題研討會由 450 毫米晶圓制造設備聯(lián)盟(F450C)舉辦。該組織目前正與紐約州立大學納米科學與工程學院(CNSE)展開合作,致力于設計打造 450 毫米計算機芯片生產線。與q*納米電子設備領域的眾多領先公司一樣,Busch 也是該組織的成員之一。

開發(fā)向 450 毫米(17.7 英寸)基片(晶圓或“薄片”)過渡的芯片生產設備和基礎設施將對該行業(yè)產生深遠影響。目前,在生產線上制造的z*大晶圓的尺寸為 300 毫米(11.8 英寸)。晶圓更大意味著可以同時加工數(shù)量更多的芯片,并節(jié)約制造成本。

s*批試樣晶圓預計將在 2015 年 9 月生產。

在該專題研討會中,Paul Alers 博士就能源消耗、耗水量和廢棄物問題發(fā)表了講話。這些問題與 Busch 的核心價值觀密切相關,Busch 秉承“生產綠色產品——Busch 助您一臂之力”的環(huán)保、可持續(xù)發(fā)展的生產理念。

在本年度的美國西部半導體展 (SEMICON West) 中,Busch 向公眾展示了 COBRA BC 雙螺桿真空泵。憑借成熟的雙螺桿技術優(yōu)勢,COBRA BC Premium Efficiency 系列真空泵可大幅減少能耗并延長平均故障間隔時間(MTBF),從而降低生產線的運行成本。該系列真空泵設計用于微芯片完整生產環(huán)節(jié)中的多種應用,適用于簡易至嚴酷工作條件下的生產環(huán)境。

半導體事業(yè)部(Semicon)業(yè)務開發(fā)與產品經理 Paul Alers 博士就半導體行業(yè)的需求進行探討,內容涉及可靠性、生產技術成熟性和節(jié)能。