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蘇州大學(xué)真空鍍膜沉積系統(tǒng)招標(biāo)
2014-11-10  閱讀

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基本信息

招標(biāo)編號(hào):S2014182

加入日期:2014.11.07

截止日期:2014.11.28

招標(biāo)業(yè)主:蘇州大學(xué)

地 區(qū):江蘇省 蘇州市

招標(biāo)公告正文

一、項(xiàng)目名稱(chēng):真空鍍膜沉積系統(tǒng)

二、招標(biāo)編號(hào):S2014182

三、招標(biāo)人:蘇州大學(xué)國(guó)有資產(chǎn)與實(shí)驗(yàn)室管理處

地址:江蘇省蘇州市東環(huán)路50號(hào)凌云樓904室

郵編:215021

傳真:0512-67165076

聯(lián)系人:張潔

電話:0512-67504198,67504359

電子郵箱:jzhang@suda.edu.cn

技術(shù)聯(lián)系人: 國(guó)老師

電話:0512-67503097,13812668621

電子郵箱:guoxia@suda.edu.cn

四、招標(biāo)貨物品名、數(shù)量及主要性能參數(shù)要求

真空鍍膜沉積系統(tǒng)  【康沃真空網(wǎng)】1套

(一)該沉積系統(tǒng)主要由樣品架系統(tǒng)、蒸發(fā)沉積系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、電控系統(tǒng)以及手套箱組成,主要性能參數(shù)要求如下

1、樣品架系統(tǒng)

(1)國(guó)際知名品牌磁流體,極限真空優(yōu)于1×10-6 Pa

(2)樣品架可以容納≥20個(gè)15×15mm基片,并配備擋板

*(3)0.3mm厚度掩模板1套,切口平整光滑,需提供樣品

(4)國(guó)際知名品牌氣缸,控制擋板開(kāi)關(guān)

(5)國(guó)際知名品牌伺服電機(jī),定位精度≤0.01°,轉(zhuǎn)速:0-60 rpm,可對(duì)樣品實(shí)施360°電動(dòng)勻速旋轉(zhuǎn),可以停留在任意指定位置

2、蒸發(fā)沉積系統(tǒng)

(1)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔,由鋁合金型材組成,占地面積不超過(guò)1.6m2

(2)真空腔體大小≥12”×12”×21”,漏率優(yōu)于1×10-10 Pa×m3/s

*(3)腔體帶有前后兩個(gè)門(mén),前門(mén):轉(zhuǎn)動(dòng)軸式開(kāi)門(mén),位于手套箱外,用于維護(hù)和清潔,帶有2個(gè)觀察窗,配有防護(hù)擋板,可手動(dòng)控制;后門(mén): 1個(gè)觀察窗,配備移門(mén),可左右滑動(dòng),方面連接手套

**(4)國(guó)際知名品牌可編程直流電源:電流精確到0.1A,z*多可同時(shí)完成2種材料的共同蒸發(fā)

(5)國(guó)際知名品牌膜厚系統(tǒng),誤差≤0.05?/s,水冷探頭,數(shù)據(jù)傳輸線耐高溫

(6)蒸發(fā)源≥6個(gè),并配備上下打開(kāi)方向的源擋板

(7)源與源之間有防止交叉污染的隔板,并方便拆洗

(8)樣品溫控,z*高300oC,±1oC

(9)國(guó)際知名品牌可編程直流電源2臺(tái),1500W,電流精確到0.1 A

3、真空系統(tǒng)

(1)該系統(tǒng)帶有旁抽,在不關(guān)閉分子的情況下可以開(kāi)腔取樣品

*(2)國(guó)際知名品牌分子泵抽速:N2≥680 L/s,轉(zhuǎn)速≥49200 rpm,極限真空優(yōu)于5×10-10 mbar,啟動(dòng)時(shí)間≤2分鐘

(3)國(guó)際知名品牌前級(jí)泵抽速≥10 L/s ,極限真空優(yōu)于3×10-3 mba

(4)國(guó)際知名品牌真空計(jì)測(cè)量范圍要求大氣壓到5.0×10-9 mbar

(5)國(guó)際知名品牌插板閥使用不少于10000次,極限真空優(yōu)于1×10-10 torr

(6)國(guó)際知名品牌角閥極限真空優(yōu)于1×10-6pa

(7)真空系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制

4、電控系統(tǒng)

**(1)設(shè)備控制系統(tǒng)中的真空系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制,可通過(guò)PLC軟件控制自動(dòng)完成抽真空操作過(guò)程,半自動(dòng)控制蒸鍍過(guò)程的各個(gè)操作環(huán)節(jié),如樣品架旋轉(zhuǎn),蒸鍍功率調(diào)節(jié),擋板閥的開(kāi)關(guān)等

5、手套箱系統(tǒng)

(1)國(guó)際知名品牌手套箱,304不銹鋼材質(zhì),水氧含量≤1 ppm

(2)手套箱應(yīng)配套水氧分析儀、再生系統(tǒng)2套

(3)可實(shí)現(xiàn)與鍍膜機(jī)對(duì)接

(4)手套箱尺寸1800×900×780,兩個(gè)手套箱由T型艙對(duì)接,并配有雙向移動(dòng)滑盤(pán)

(5)前窗面板,PC材質(zhì)帶有SAPHIR鍍層,每個(gè)手套箱箱體配備4個(gè)0.4mm厚大號(hào)丁基橡膠材質(zhì)手套

(6)PLC,5.7’’觸摸屏,彩色控制系統(tǒng),自動(dòng)再生功能

(7)自動(dòng)壓力控制系統(tǒng),能將箱體內(nèi)壓力控制在 +/-15mbar之間;集成有無(wú)油循環(huán)泵:循環(huán)z*大流量84m3/h

(8)5個(gè)DN40KF法蘭接口,8個(gè)BNC接口

6、培訓(xùn)服務(wù)

(1)提供設(shè)備操作各個(gè)關(guān)節(jié)培訓(xùn)

(2)提供相關(guān)蒸鍍及工藝技巧培訓(xùn)

(二)配置要求

1、分子泵:1臺(tái)

2、機(jī)械泵:1臺(tái)

3、插板閥:1臺(tái)

4、真空計(jì):1臺(tái)

5、角閥:2個(gè)

6、可編程直流電源:2臺(tái)

7、手套箱:1套

8、工控機(jī):1臺(tái)

9、膜厚控制:2個(gè)

10、蒸發(fā)源:6個(gè)

11、樣品架:1套

12、伺服電機(jī):1個(gè)

13、磁流體:2個(gè)

14、手套箱:2個(gè)

15、水氧分析儀、再生系統(tǒng):2套

(三)售后服務(wù)及付款方式

1、質(zhì)保期:質(zhì)保期不少于一年

2、付款方式:貨到驗(yàn)收合格后付合同總額的90%,設(shè)備正常運(yùn)行一年后支付合同總額的10%。

五、評(píng)分標(biāo)準(zhǔn):

本次招標(biāo)采用綜合評(píng)分法,總分為100分,具體內(nèi)容如下:

(一)技術(shù)參數(shù)、配置及整體綜合性能分(45分)

1 技術(shù)參數(shù)及配置(30分)

以投標(biāo)人提供的能直接反映該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)的彩頁(yè)或產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)等作為主要評(píng)標(biāo)依據(jù),其他情況由評(píng)委會(huì)專(zhuān)家根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行評(píng)判。

(1)所投產(chǎn)品不滿(mǎn)足招標(biāo)文件標(biāo)注“**”技術(shù)條款要求(偏離)、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏的,其投標(biāo)為無(wú)效投標(biāo)。

(2)所投產(chǎn)品不滿(mǎn)足招標(biāo)文件標(biāo)注“*”技術(shù)條款要求(偏離)、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏達(dá)到3項(xiàng)的,作為無(wú)效投標(biāo)。

(3)所投產(chǎn)品不滿(mǎn)足招標(biāo)文件標(biāo)注“*”技術(shù)條款要求(偏離)、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏項(xiàng)的,每處扣3分。

(4)所投產(chǎn)品不滿(mǎn)足招標(biāo)文件未標(biāo)注“*”技術(shù)條款要求的(偏離)、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不清、缺漏項(xiàng)的,每處扣1分。

2 綜合性能情況(15分)

(1)所投產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于招標(biāo)文件中技術(shù)條款要求情況(評(píng)委會(huì)認(rèn)為超出指標(biāo)有意義的)(5分)。其中優(yōu)于標(biāo)注“*”項(xiàng)的,每處加2分,其它優(yōu)于項(xiàng)每處加1分。

(2)所投產(chǎn)品主要部件情況(8分)。根據(jù)投標(biāo)文件中列所投產(chǎn)品所使用的主要部件生產(chǎn)廠家、品牌、型號(hào)等情況進(jìn)行比較后綜合評(píng)定。

(3)所投產(chǎn)品的市場(chǎng)反饋情況(2分)。如所投產(chǎn)品的品牌影響力、市場(chǎng)占有率(同行業(yè)為主)、現(xiàn)有用戶(hù)的反饋情況以及標(biāo)注使用所投產(chǎn)品發(fā)表的高水平論文情況等綜合評(píng)定。

(二)價(jià)格分(35分)

1 評(píng)標(biāo)基準(zhǔn)價(jià):滿(mǎn)足招標(biāo)文件要求且投標(biāo)價(jià)格z*低的投標(biāo)報(bào)價(jià)為評(píng)標(biāo)基準(zhǔn)價(jià),評(píng)標(biāo)基準(zhǔn)價(jià)為滿(mǎn)分35分;

2 其他投標(biāo)供應(yīng)商的投標(biāo)報(bào)價(jià)得分按照下列公式計(jì)算:投標(biāo)報(bào)價(jià)得分=(評(píng)標(biāo)基準(zhǔn)價(jià)/投標(biāo)報(bào)價(jià))×35分。

(三)綜合商務(wù)(20分)

1 投標(biāo)人綜合實(shí)力(4分)

(1)注冊(cè)資本(2分);

(2)財(cái)務(wù)狀況(2分)。

2 售后服務(wù)與培訓(xùn)情況等(11分)

(1)質(zhì)保期(3分)。符合招標(biāo)文件要求得1分,每增加一年質(zhì)保期加1分。

(2)服務(wù)、技術(shù)支持與培訓(xùn)承諾情況(8分)

根據(jù)投標(biāo)文件的相關(guān)承諾,在蘇州周邊地區(qū)設(shè)置服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)情況、服務(wù)響應(yīng)時(shí)間以及現(xiàn)有用戶(hù)對(duì)產(chǎn)品售后服務(wù)情況反饋等綜合確定。

3 其它(5分)

(1)投標(biāo)文件質(zhì)量(2分)。根據(jù)投標(biāo)文件的規(guī)范性、完整性等情況綜合評(píng)定。

(2)其它優(yōu)惠措施等(3分)。根據(jù)投標(biāo)人在投標(biāo)文件中明確的在招標(biāo)文件要求范圍以外,評(píng)委會(huì)認(rèn)可的具體的、實(shí)在的優(yōu)惠措施。

六、貨物交貨期、交貨地點(diǎn)、付款方式、安裝、調(diào)試及驗(yàn)收以及售后服務(wù)等相關(guān)商務(wù)要求,按照《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購(gòu)儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》第22條中的要求執(zhí)行。

七、招標(biāo)文件價(jià)格:標(biāo)書(shū)每份人民幣800元(可投標(biāo)時(shí)交納),售后不退。

八、投標(biāo)報(bào)名截止時(shí)間:自本公告公布之日起至2014年11月21日下午17:00止。請(qǐng)擬參加本項(xiàng)目投標(biāo)的各單位務(wù)必在此時(shí)間前將投標(biāo)確認(rèn)函(格式見(jiàn)附件)送達(dá)或傳真至招標(biāo)人處。

九、投標(biāo)截止時(shí)間:2014年11月28日13:30。各投標(biāo)人在投標(biāo)前,須認(rèn)真閱讀《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購(gòu)儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》和本招標(biāo)公告,完全了解并接受其所有條款及要求。并在截止時(shí)間之前將投標(biāo)文件一式8份(其中正本1份,副本7份)送達(dá)招標(biāo)人處。

十、開(kāi)標(biāo)時(shí)間:2014年11月28日13:30。

十一、未盡事宜,按《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購(gòu)儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》中的相關(guān)條款執(zhí)行。

文件下載:20141110093423540.doc