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振華真空:國內s*條高阻隔膜連續沉積設備

2014-06-12 14:22:11 閱讀()

　　肇慶市振華真空機械有限公司z*新研制出國內s*創大型PECVD、磁控濺射卷繞鍍膜機。采用多區域沉積、多主軸結構，在薄膜上沉積SiOx阻隔膜。沉積速率高，質量好。用于電子產品、醫藥用品的高檔阻隔膜生產。

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