高科技產(chǎn)業(yè)整合解決方案供應(yīng)商Manz AG宣布將正式進(jìn)軍晶體硅太陽(yáng)能電池真空鍍膜市場(chǎng)，并借參展于法蘭克福舉行的歐洲光電太陽(yáng)能會(huì)議暨展覽會(huì)（EU PVSEC）期間，推出新型等離子體化學(xué)氣相沉積（PECVD）垂直鍍膜設(shè)備VCS 1200，該設(shè)備能對(duì)晶體硅太陽(yáng)能電池進(jìn)行正面與背面的雙面鍍膜。在等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積過(guò)程中對(duì)電池進(jìn)行鈍化對(duì)于硅基太陽(yáng)能電池至關(guān)重要。
　　
　　垂直鍍膜設(shè)備VCS 1200采用全新技術(shù)，在其垂直處理過(guò)程中能夠達(dá)到每小時(shí)1200 片的產(chǎn)能。結(jié)合其高效等離子源和全新的傳輸系統(tǒng)，整個(gè)鍍膜過(guò)程不會(huì)在硅片上留下任何劃痕或碎屑雜物。“快速替換”的清潔概念將停機(jī)時(shí)間減少到z*低，因?yàn)殡姵厣a(chǎn)商可以在設(shè)備以外的區(qū)域清潔工藝腔體以及傳輸設(shè)備。新設(shè)備及加工技術(shù)極大地提高了電池效率。
　　
　　全新的真空鍍膜設(shè)備完全由Manz Coating GmbH（隸屬于Manz AG，為Manz真空鍍膜技術(shù)中心， 于2010年成立）自主研發(fā)，該公司總經(jīng)理Mathias H.fler先生說(shuō)道：“得益于我們具有強(qiáng)大研發(fā)能力的50位專業(yè)工程師，該產(chǎn)品能夠快速進(jìn)入市場(chǎng)。新設(shè)備的推出標(biāo)志著Manz已完全掌握了生產(chǎn)晶體硅太陽(yáng)能電池的所有核心技術(shù)。”
　　
　　對(duì)于既有生產(chǎn)線，整合垂直系統(tǒng)VCS 1200從而對(duì)背面進(jìn)行鈍化，可使廠商重新獲得盈利能力。Manz AGs*席執(zhí)行官Dieter Manz表示：“整個(gè)光伏產(chǎn)業(yè)現(xiàn)在正經(jīng)歷著艱難時(shí)刻，電池生產(chǎn)廠商迫切需要降低每瓦成本。基于創(chuàng)新的PECVD設(shè)備，我們能夠提供具有z*低投資與運(yùn)營(yíng)成本的完美解決方案。”Manz公司將于2012年9月24日至28日在德國(guó)法蘭克福舉行的歐洲光電太陽(yáng)能會(huì)議暨展覽會(huì)（EU PVSEC）上s*次公開(kāi)展出該產(chǎn)品。
　　
　　從晶硅片到太陽(yáng)能電池的制造環(huán)節(jié)：加上真空鍍膜，Manz已完全掌握了生產(chǎn)晶體硅太陽(yáng)能電池的所有核心技術(shù)。