【康沃真空網(wǎng)】低溫泵是利用20K以下的低溫表面來凝聚氣體分子以實現(xiàn)抽氣的一種泵，是目前具有最高極限真空的抽氣泵。它主要用于大型真空系統(tǒng)，如高能物理、超導(dǎo)材料的制備、宇航空間模擬站等要求高清潔、無污染、大抽速、高真空和超高真空等場合。低溫泵又稱冷凝泵、深冷泵。按其工作原理又可分為低溫吸附泵、低溫冷凝泵、致冷機(jī)低溫泵。前兩種泵直接使用低溫液體（液氮、液氦等）來進(jìn)行冷卻的，成本較高，通常僅作為輔助抽氣手段；致冷機(jī)低溫泵是利用制冷機(jī)產(chǎn)生的深低溫來進(jìn)行抽氣的泵，其基本結(jié)構(gòu)如圖1-4所示。在制冷機(jī)的第一級冷頭上，裝有輻射屏和輻射擋板，溫度處于50-77K，用以冷凝抽除水蒸汽和二氧化碳等氣體，同時還能屏蔽真空室的熱輻射，保護(hù)第二級冷頭和深冷板；深冷板裝在第二級冷頭上，溫度為10-20K，板正面光滑的金屬表面可以去除氮、氧等氣體，反面的活性碳可以吸附氫、氦、氖等氣體。通過兩極冷頭的作用，可以達(dá)到去除各種氣體的目的，從而獲得超高真空狀態(tài)。
低溫泵作為捕獲泵，能用來捕集各種包括有害的或易燃易爆氣體，使其凝結(jié)在制冷板上，以達(dá)到抽氣的目的。但是，工作一段時間后，低溫泵的低溫排氣能力會降低，因此必須經(jīng)“再生”處理，即清除低溫凝結(jié)層。再生時必須遵循以下幾點(diǎn)要求：
（1）一旦開始再生處理，就必須清除徹底。這是因為局部升溫時會使屏蔽板上冷凝的大量水蒸氣轉(zhuǎn)移到內(nèi)部的深冷吸氣板上，嚴(yán)重?fù)p害低溫泵的抽氣能力。
（2）再生時應(yīng)使凝結(jié)層穩(wěn)定蒸發(fā)，一定不能使系統(tǒng)內(nèi)氣體壓力超過允許值，否則在除氫這類易燃易爆的氣體時，一旦漏入空氣就有爆炸的危險。
（3）再生時，需嚴(yán)防來自前級泵的碳?xì)浠衔镞M(jìn)入低溫泵內(nèi)污染吸氣面，因此要求抽氣時間盡可能短。
