無油渦旋真空泵的特點
【康沃真空網(wǎng)】在現(xiàn)有的無油真空泵當中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點:
①無油，無摩擦——真空腔內(nèi)無油，非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空;
②抽氣量大——雙渦旋盤，結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源;
③抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元，壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封，泄漏低;
④非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動小;
⑤結(jié)構(gòu)簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩(wěn);
⑥體積小，維修方便，維護費用低;
⑦采用空氣冷卻，無需水冷。
目前無油渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域為:
①半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;
②科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器;
③機械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備;
④化學(xué)工業(yè);
⑤醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備;
⑥包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。
