【康沃真空網(wǎng)】真空控制閥的變體有哪些？
1、蝶形控制閥
蝶形控制閥可以在任何條件下實(shí)現(xiàn)出色的精確和快速的壓力控制。蝶板作為節(jié)流元件，改變了閥口的傳導(dǎo)性。集成在蝶閥中的壓力控制器計(jì)算出所需的閥板位置，優(yōu)化實(shí)現(xiàn)所需的壓力。
2、高壓蝶閥和隔離閥
HV蝶形控制和隔離閥允許在所有條件下進(jìn)行出色的壓力控制。蝶板作為一個(gè)節(jié)流元件，改變了閥口的傳導(dǎo)性。集成在閥門(mén)中的壓力控制器計(jì)算出所需的閥板位置，優(yōu)化了所需壓力的實(shí)現(xiàn)。
該閥的額外隔離功能避免了蝶形閥特有的較高的密封磨損。偏離中心的板式軸以及閥體和密封座的特殊幾何形狀使密封摩擦最小化，同時(shí)提高了密封性能。
3、高壓控制角閥
HV控制角閥是為具有特別高的壓力和高溫的情況而設(shè)計(jì)的，如ALD或CVD。這樣一來(lái)，即使在最高工作溫度下，HV角閥也能提供異常精確的壓力控制性能。
4、高壓控制閘閥
HV閘閥被推薦用于標(biāo)準(zhǔn)真空工藝中的高循環(huán)真空控制和隔離，如半導(dǎo)體生產(chǎn)中的濺射和蝕刻工藝。HV控制閘閥滿足了對(duì)耐用性、模塊化和易維護(hù)性的標(biāo)準(zhǔn)要求，同時(shí)也以高可用性和低運(yùn)營(yíng)成本給人留下深刻印象。
5、超高壓控制閘閥
UHV控制閘閥保證了超高真空工藝的精確控制和隔離，如半導(dǎo)體生產(chǎn)中的 "濺射 "或EUV。UHV控制閘閥滿足耐用性、模塊化和易于維護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)要求，而且還以高可用性和低運(yùn)行成本給人留下深刻印象。
6、高壓擺式控制閥
HV 擺式控制閥提供優(yōu)化的下游壓力控制和真空隔離，尤其適用于半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)。HV 擺式控制閥在廣泛的電導(dǎo)率范圍內(nèi)提供了一個(gè)寬廣的控制范圍。
7、流量對(duì)稱控制閥
流量對(duì)稱控制閥通過(guò)流量?jī)?yōu)化壓力控制確保最高質(zhì)量和生產(chǎn)率，也可用作下游控制和隔離閥。
8、高壓控制和隔離閥組合系統(tǒng)
HV控制和隔離閥組合系統(tǒng)結(jié)合了控制和隔離閥的最佳特性。因此，這兩種閥門(mén)技術(shù)的有效結(jié)合使得高性能的組合系統(tǒng)具有緊湊的設(shè)計(jì)。
