【康沃真空網(wǎng)】01鈦升華泵的結(jié)構(gòu)
該泵是一種利用鈦來(lái)排氣從而產(chǎn)生超高真空的真空泵。
與通過(guò)冷卻獲得真空的吸附泵不同,通過(guò)加熱和升華鈦在壁面上產(chǎn)生大量活性表面,與濺射離子泵或渦輪分子泵組合使用。
鈦升華泵的應(yīng)用領(lǐng)域:
用于加速器,分析儀器等,與濺射離子泵,低溫泵,渦輪分子泵等真空泵配合使用,縮短排氣時(shí)間,提高極限壓力,增加排氣量。
02鈦升華泵的特點(diǎn)
吸氣作用產(chǎn)生真空
該泵是利用鈦的吸氣作用進(jìn)行排氣,可以產(chǎn)生超高真空的真空泵。
吸氣作用是指通過(guò)吸附氣體分子來(lái)進(jìn)行排氣。
吸氣的材料使用的是活性鈦,通過(guò)化學(xué)吸附來(lái)吸附氫氣、氧氣、氮?dú)?、一氧化碳和活性氣體等,提高氣體的真空度。
優(yōu)點(diǎn) 無(wú)油,優(yōu)異的可維護(hù)性,與離子泵并用可獲得極高真空
缺點(diǎn) 惰性氣體不能排氣
03
鈦升華泵的原理
蒸發(fā)的鈦吸附分子
該泵通過(guò)加熱鈦蒸發(fā)用的燈絲使其在真空中升華,在泵內(nèi)的壁面形氣體鈦的蒸鍍膜。
然后通過(guò)利用鈦的吸氣作用,進(jìn)行氣體的吸附,發(fā)揮排氣作用。
即使吸附面被氣體分子填滿(mǎn),通過(guò)在其表面重疊鈦的蒸鍍膜來(lái)確保吸附面。