渦輪分子真空泵特點
流量從50升/秒到5000升/秒
清潔泵，因為不使用機油
需要泵底漆
購買成本高
維護費用高
渦輪分子真空泵 可達到10-12 毫巴的壓力水平。 流量從50升到5000升/秒不等。 它們的工作原理與壓縮機相同。 泵的各級葉片由高速旋轉的電動機旋轉，電動機從待排空的容積中排出空氣。 這種泵通常安裝在磁性軸承上以支持高轉速。 它們需要一臺真空極限為10-2 mbar的主泵。
渦輪分子真空泵的優點是不需要機油。 因此，是一種干凈的泵。 這種泵特別適合超高真空的應用，如分析儀器或實驗室分析。
由于其復雜的技術，渦輪分子泵的購買成本很高，并且比傳統的真空泵需要更多的維護。 泵送速度也很大程度上取決于所泵送氣體的類型。 對于較輕的氣體，速度會急劇下降。
