淺談三種油封式機(jī)械真空泵
【康沃真空網(wǎng)】油封式機(jī)械真空泵按結(jié)構(gòu)型式可分為定片式、旋片式和滑閥式三種。他們都是利用真空泵油來(lái)潤(rùn)滑、密封和降溫；都是靠轉(zhuǎn)子在泵殼內(nèi)運(yùn)動(dòng)使轉(zhuǎn)子、葉片、泵殼之間的容積周期性變化，以達(dá)到抽氣和排氣的目的。
一、定片式真空泵
其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且使用壽命長(zhǎng)，檢修容易，雙級(jí)泵的極限真空度可達(dá)10–3Torr，但抽速較小，應(yīng)用很少。
二、旋片式真空泵
分為單級(jí)旋片式真空泵（由定子、旋片、轉(zhuǎn)子等組成，只有一個(gè)工作室）和雙級(jí)旋片式真空泵（它由兩個(gè)工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，Ⅰ室為Ⅱ室的前級(jí)）。
三、滑閥式真空泵
主要由泵體及內(nèi)部做偏心轉(zhuǎn)動(dòng)的滑閥部件、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組成。
