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什么是余擺線真空泵?
標簽: 真空泵
2016-11-17  閱讀

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余擺線型轉子在腔內作行星運動,使工作室容積周期性變化以實現抽氣。在泵腔內各運動件表面間用油膜密封,所以余擺線真空泵時一種油封式機械真空泵。它主要由泵體和轉子構成。轉子的型線為余擺線,泵腔型線為轉子型線的外包絡線。轉子上的內齒輪與固定在泵蓋上的小齒輪嚙合。

當轉動軸旋轉時,偏心輪即帶動內齒輪繞小齒輪作行星運動,泵體點永遠與轉子表面接觸,將泵腔分隔為A和B室。轉自逆時針方向旋轉,A室內壓力逐漸降低,氣體從吸氣口不斷被吸入,同時B室內的氣體逐漸被壓縮,通過排氣閥排出泵外。

從結構原理和使用性能來看,余擺線泵與同類型泵相比有很多優(yōu)點:

1、運轉平穩(wěn)、振動小、尺寸小、抽速大;

2、在低壓范圍內(1-100pa)其抽速野性曲線由于滑閥泵;

3、對被抽氣體中含有一定量的粉塵及小顆粒等不太敏感;

4、適應較高溫度的工作環(huán)境,可通過溫控裝置使泵腔保持較高溫度,以抽除大量的可凝性水蒸汽。

由于余擺線泵在1-10pa壓力范圍內仍具有很大的抽速,因此該泵適用于真空行業(yè)中的大排氣量裝置。目前已在真空冶金、真空熱處理、真空干燥等行業(yè)中得到應用。