劑量概念導(dǎo)致必須采取措施，避免 AMC 產(chǎn)生的缺陷：
■ 減小壓力
■ 增加溫度
■ 降低接觸時間
由于等待時間是保證晶圓加工靈活性所必需的制造要求，所以減少缺陷的正確方法是在升高的溫度下使 FOUP 和晶圓在真空中出氣，從而增加產(chǎn)量。為獲得 AMC 的控制，關(guān)鍵是要在 FOUP 內(nèi)部對其進(jìn)行監(jiān)控，而且，由于受到動態(tài)過程的支配，所以必須在生產(chǎn)環(huán)節(jié)中進(jìn)行監(jiān)控。普發(fā)真空提供了APA 302 Pod 分析儀作為 AMC 分析的適宜工具。APA 302在兩分鐘內(nèi)于 ppbv 級別上提供有關(guān)總酸量、總胺量、揮發(fā)性有機化合物和水蒸氣總量的信息。可以使用空 FOUP 或載有晶圓的 FOUP 完成測量。
圖 8.11：Pod 再生器流程周期一旦已分析 AMC 且已確定其對產(chǎn)量的影響，則必須采取適當(dāng)?shù)拇胧﹣砀纳魄闆r。為此，普發(fā)真空提供了 APR 4300Pod 再生器作為在單次運行中凈化多達(dá)四個 FOUP 的有效工具。這項專利機器是基于本章所提出的物理和化學(xué)氣體表面相互作用的見解。Pod 分析儀遵循圖 8.11 所描述的真空工藝。在大約五分鐘的第一個真空調(diào)節(jié)步驟中，達(dá)到了工作壓力。隨后的凈化工藝解吸在表面形成的 AMC，在z*后一個步驟中，F(xiàn)OUP 返回至氣壓。
APR 4300 Pod 再生器通過將產(chǎn)量提高 7% 已經(jīng)證明了其效率。半導(dǎo)體制造將出現(xiàn)新的挑戰(zhàn)，而且，空氣分子污染的劑量將變得越來越重要。因此，必須對關(guān)鍵生產(chǎn)步驟之間氣壓傳輸?shù)奶娲绞竭M(jìn)行開發(fā)。在未來解決方案中，真空將確實發(fā)揮越來越大的作用。
