AMC 的性質(zhì)
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2015-07-15 閱讀
在氣壓和環(huán)境溫度下，約含有 1015 個原子/cm2 的固體表面每秒每平方厘米接收 1023 [37] 次方的外來氣體分子和原子流。這意味著，在納秒內(nèi)，該表面將會覆蓋上一些氣體分子層。分子粘著在表面的概率在很大程度上取決于其性質(zhì)和該表面的性質(zhì)與形貌。但是即使在 ppbv 范圍（體積的十億分之幾，即 10-9）內(nèi)的微量反應(yīng)副產(chǎn)物，其以 1014 s-1 cm-2 的速率撞擊表面，如果粘著系數(shù)高的話，也將會在幾秒內(nèi)覆蓋表面。
空氣分子可以是極性或非極性的。在非極性分子中，電荷對稱分布，正電荷和負(fù)電荷的中心重合。這方面的例子有氮氣N2 或線性 CO2 分子。這些分子通過弱范德華力保持在固體表面上，具有范圍通常在熱能量 RT ≈ 2.5 kJ/mol 和約20 · RT 之間的結(jié)合能。在極性分子，電荷不對稱分布，造成永久性偶極動量。在極性分子的例子中有水 H2O 和用于半導(dǎo)體蝕刻工藝的無機酸，如 HF 和 HCl。極性分子的結(jié)合能量較高，例如，對于 Si(100) 表面上的 H2O 大約為 138 kJ/mol。這些分子可能與表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成進一步反應(yīng)的核心。
