使用檢漏儀與使用四級(jí)桿質(zhì)譜儀的測(cè)試結(jié)果比較
四級(jí)桿質(zhì)譜儀主要用于分析混合氣體的組成。它們需要高真空范圍內(nèi)的測(cè)試壓力。質(zhì)譜儀幾乎可以與任何示蹤氣體一起使用，因?yàn)樗鼈兊氖褂貌⒉灰蕾囉诮?jīng)典的示蹤氣體氦氣。殘余氣體分析儀無需任何特殊的測(cè)試氣體就可以檢測(cè)真空系統(tǒng)中的泄漏。它們分析空氣中氣體的質(zhì)量。
用于示蹤氣體氦氣的檢漏儀目前沒有在四級(jí)桿質(zhì)譜儀的基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)的。它們具有更大的堅(jiān)實(shí)性和長期穩(wěn)定性以及結(jié)果和數(shù)據(jù)解讀更容易量化， 這些特性導(dǎo)致：在扇形磁場(chǎng)質(zhì)譜儀基礎(chǔ)上的上述所有質(zhì)譜檢漏儀主要用于此目的。
具有基于石英視窗傳感器的檢漏儀也用于不需要高靈敏度質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用。具有石英視窗傳感器的裝置使在非常高的測(cè)試壓力和高水蒸氣接觸下工作成為可能。
