四極桿質(zhì)譜儀探測(cè)器—真空系統(tǒng)
離子必須能夠穿過(guò)四級(jí)桿過(guò)濾器，而不與中性氣體粒子碰撞。在壓力 p < 10-4 hPa 時(shí)獲得的平均路徑長(zhǎng)度是操作四級(jí)桿質(zhì)譜儀所必需的。這需要具有壓力監(jiān)測(cè)功能的合適泵站。
為進(jìn)行具有z*佳靈敏度的氣體分析，不僅低底壓是必要的，而且殘余氣體應(yīng)只包含源自設(shè)備壁解吸的不可避免的分壓。
使用渦輪拖式泵站，這種類型的殘余氣體光譜和低底壓可達(dá)到z*佳。附加的總壓計(jì)防止質(zhì)譜儀在過(guò)高壓力時(shí)通電。在建立此類系統(tǒng)時(shí)，必須注意進(jìn)氣口、閥、泵和測(cè)量?jī)x器的適當(dāng)安排，以避免不利流動(dòng)條件產(chǎn)生的歪曲。真空工藝在高壓下運(yùn)行的過(guò)程中，通常需要一個(gè)用于對(duì)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行抽空的獨(dú)立泵站。帶有渦輪拖式泵和隔膜泵的小型泵站可作此用途。
