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一些上述離子源也可用在氣密版本中。如果只提供少量的樣氣或如果殘余氣體產(chǎn)生的信號背景需要有效地被抑制，則使用氣密離子源。在這種結構中，進氣系統(tǒng)（如加熱毛細管）和離子源必須相互匹配。通過離子源的電導率，流入的氣體體積將確定形成區(qū)域中的壓力，該壓力可以是周圍真空室中壓力的倍數(shù)。現(xiàn)在，將通過舉例的方式使用軸向離子源說明其工作原理。

將待分析的氣體直接通過處于低電勢的金屬毛細管 (6) 和絕緣管 (5) 引入到形成區(qū)域 (4)。由墊圈 (7) 提供絕緣。真空室電導率大約為 1 l/s。