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扇形場(chǎng)質(zhì)譜儀工作原理
標(biāo)簽: 質(zhì)譜儀
2015-06-10  閱讀

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由于其簡(jiǎn)單、堅(jiān)固的設(shè)計(jì),扇形場(chǎng)質(zhì)譜儀用于氦氣檢漏儀。它們的質(zhì)量范圍限制在 2 u(氫分子)和 4 u(氦原子)之間。這使得可以構(gòu)建小型、緊湊但非常強(qiáng)大的質(zhì)譜儀。

工作原理
扇形體質(zhì)譜儀的工作原理如Figure 6.3 所示。

扇形場(chǎng)質(zhì)譜儀工作原理

圖 6.3:180° 扇形體質(zhì)譜儀的工作原理

中性氣體粒子在離子源中通過(guò)電子碰撞(圖 6.4 a)進(jìn)行電離。由此產(chǎn)生的電子具有質(zhì)量 m 與載荷 q,電子通過(guò)電勢(shì)梯度U 移向扇形磁場(chǎng),同時(shí)產(chǎn)生動(dòng)能,。

扇形場(chǎng)質(zhì)譜儀工作原理
公式 6-1:動(dòng)能

即它們以速度  扇形場(chǎng)質(zhì)譜儀工作原理    通過(guò)扇形場(chǎng)。在這里,電荷是相同的,電子的速度以及通過(guò)一定距離所需的時(shí)間取決于其質(zhì)量的大小。這由飛行時(shí)間質(zhì)譜儀直接利用達(dá)到分離質(zhì)量的目的。在扇形場(chǎng)質(zhì)譜儀中,離子在洛倫茲力產(chǎn)生的均勻磁場(chǎng)中勾勒出圓形路徑,洛倫茲力與速度和磁場(chǎng)垂直,作用在移動(dòng)離子上。

扇形場(chǎng)質(zhì)譜儀工作原理

公式 6-2:洛倫茲力在半徑為 r 的圓形路徑上,洛倫茲力等于向心力。

扇形場(chǎng)質(zhì)譜儀工作原理

公式 6-3:力的平衡

這用于計(jì)算路徑的半徑

扇形場(chǎng)質(zhì)譜儀工作原理

公式 6-4:路徑半徑

用于泄漏探測(cè)器的扇形場(chǎng)質(zhì)譜儀配備了永磁體,該永磁體提供恒定磁場(chǎng),在圖 6.3 中,其位置與圖像平面垂直。質(zhì)譜儀以這樣的方式調(diào)節(jié):?jiǎn)坞姾珊るx子s*先通過(guò)孔口,然后通過(guò)出口狹縫,z*后撞擊探測(cè)器。 所有其他分子無(wú)法通過(guò)狹縫并重新進(jìn)行中和。測(cè)量的氦離子電流與氦分壓成正比。從公式6-4 中可以看出,通過(guò)加速電壓 U 可以改變路徑的半徑。實(shí)際上,使用不僅僅限于偏轉(zhuǎn) 4氦,而且還限于將 m / e 之比為2:3 的離子向出口狹縫偏轉(zhuǎn),以便檢測(cè)氣體氫和 3氦。


在泄漏檢測(cè)中,為獲得氦測(cè)試氣體的高檢測(cè)靈敏度,扇形場(chǎng)質(zhì)譜儀裝有靈敏探測(cè)器。直接的金屬收集器(法拉第杯)不再符合現(xiàn)在的要求,所以現(xiàn)代的泄漏測(cè)試儀結(jié)合了微通道板,其結(jié)構(gòu)非常緊湊,具有高增益和低噪聲。這些在兩側(cè)均具有金屬涂層的玻璃微通道板具有大量的細(xì)微通道,這些通道以很微小的角度一直通向端面(圖 6.4 b),且其內(nèi)表面也有涂層。如果離子撞擊該表面,則觸發(fā)二次電子雪崩,且通過(guò)施加在板上的電壓向探測(cè)器加速。

扇形場(chǎng)質(zhì)譜儀工作原理

根據(jù)公式 6-4,軌跡半徑與磁場(chǎng)成反比。永磁體的可用材料對(duì)磁場(chǎng)強(qiáng)度有限制。這導(dǎo)致氦質(zhì)譜儀典型的半徑為 10 cm 的量級(jí)。為確保離子軌跡不受到碰撞的妨礙,平均路徑長(zhǎng)度必須大約是相同的數(shù)量級(jí)。因此,氦扇形場(chǎng)質(zhì)譜儀的z*大連續(xù)工作壓力大約為 10-5 hPa。