工作原理
單級羅茨泵的工作原理相當(dāng)于第 4.5 節(jié)中描述的多級羅茨泵的工作原理。在羅茨真空泵中，兩個同步反向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子 (4)在殼體中非接觸旋轉(zhuǎn)（Figure 4.16）。該轉(zhuǎn)子具有 8 字形結(jié)構(gòu)，且相互之間以及與轉(zhuǎn)子之間由窄間隙分離開來。其工作原理類似于具有雙齒齒輪的齒輪泵，該泵從將氣體從入口 (3)泵送到出口 (12)。一個軸由電機(jī) (1) 驅(qū)動。另一軸通過齒輪室中的一對齒輪 (6) 同步進(jìn)行。潤滑僅限于兩個軸承和齒輪室，它們通過具有壓縮環(huán)的迷宮密封 (5) 與吸入室 (8) 密封開來。由于吸入室中無摩擦，羅茨真空泵可在高轉(zhuǎn)速 (1,500 –3,000 rpm ) 下操作。無往復(fù)運(yùn)動質(zhì)量還能提供無故障的動態(tài)平衡，這意味著，羅茨真空泵的運(yùn)轉(zhuǎn)極其安靜，盡管其具有高轉(zhuǎn)速。
設(shè)計
轉(zhuǎn)子軸軸承安排在兩個側(cè)蓋中。它們在一側(cè)被設(shè)計為固定軸承，在另一側(cè)被設(shè)計為可動（松動）軸承，以實現(xiàn)殼體和轉(zhuǎn)子之間不平衡熱膨脹。軸承使用通過飛濺圓盤置換到軸承和齒輪的油進(jìn)行潤滑。標(biāo)準(zhǔn)版本上驅(qū)動軸饋通與外部通過浸入在密封油中、由 FPM 制成的徑向軸密封環(huán)密封。為保護(hù)軸，密封環(huán)在保護(hù)套上運(yùn)行，該保護(hù)套在磨損后可更換。
如果與外部之間需要進(jìn)行嚴(yán)密密封，泵還可通過帶有罐裝置的永磁體耦合方式驅(qū)動。該設(shè)計能提供泄漏率 QI 小于10-6 Pa m3 s-1。
泵性能，加熱
由于羅茨泵沒有內(nèi)部壓縮或出口閥，當(dāng)吸入室打開時，其氣體體積回流到吸入室，然后必須對著出口壓力重新排放。由于這種影響，特別是在入口和出口之間存在高壓差的情況下，產(chǎn)生高能量耗散，這導(dǎo)致泵在低氣體流量下顯著變熱，而低氣體流量只能傳送少量的熱。與殼體相比，旋轉(zhuǎn)羅茨活塞相對難以冷卻，因為它們實際上是真空絕緣的。因此，它們的膨脹比殼體厲害。為防止接觸或咬粘，z*大可能的壓差以及耗散能量通過溢流閥 (7) 進(jìn)行限制。該閥連接至入口側(cè)和泵直通通道的壓力側(cè)。在超過z*大壓差且z*大壓差允許較大或較少部分的進(jìn)氣從壓力側(cè)流回到入口側(cè)時（這取決于吞吐量），重錘式閥板打開。由于受限壓差，標(biāo)準(zhǔn)羅茨泵不能向氣壓排放，而需要前級泵。然而，帶有溢流閥的羅茨真空泵甚至可在氣壓下與前級泵一起開啟，從而在一開始就增加其抽速。這縮短了排空時間。
