化學(xué)工藝的持續(xù)發(fā)展，特別是在半導(dǎo)體和太陽行業(yè)中，對所用真空泵不斷地提出新的要求?；诙嗉?a href="http://barher.cn" target="_blank" class="keylink">羅茨泵的可靠技術(shù)，普發(fā)真空憑借其 H 系列為這些行業(yè)領(lǐng)域中的苛刻工藝提供完美的解決方案。與先前泵解決方案相比，過程壓力下的氣體吞吐量、粒子耐受性和耐冷凝性已顯著提高。
與 P（用于一般工藝）系列泵一樣，H 系列（用于苛刻工藝）泵配備了溫度控制和惰性氣體沖洗系統(tǒng)。但是，用于優(yōu)化工藝調(diào)節(jié)的參數(shù)范圍比 P 系列泵更廣。
該泵系列是基于 A 203 H 空運(yùn)行流程泵。我們已采用了該系列的另外三個(gè)型號并輔以羅茨泵用于過程壓力范圍內(nèi)提高了的抽速和氣體吞吐量。由于使用了特殊材料，這些泵的腐蝕性氣體設(shè)備使其還可使用強(qiáng)氧化劑，如 NF3。該泵廣泛的溫度范圍使其能夠適應(yīng)各種不同的工藝，如低溫下的鎢沉積或高溫下的氮化物沉積。高效的電機(jī)產(chǎn)生低壓力下的能源節(jié)約，并因其高扭矩，在泵停機(jī)后提供良好的啟動性能。
得益于它們相同的接口和相同的介質(zhì)連接，A3H 系列型號可與 P 系列泵理想兼容。這意味著，如果現(xiàn)有生產(chǎn)設(shè)備上發(fā)生工藝改變，通過更換泵，使用z*小的安裝工作就可獲得優(yōu)化的泵解決方案。
使用第三級羅茨輔助 A 1803 H 型號，可提供緊湊、極其強(qiáng)大的泵站，具有z*大抽速，適合于 CVD 工藝。AD 73 KH在空運(yùn)行流程泵上采用變頻控制的羅茨泵，羅茨泵在其本身的框架內(nèi)具有額定抽速 4,500 m3 · h-1。由于模塊化結(jié)構(gòu)，安裝很容易，且泵站中的各個(gè)泵可單獨(dú)取出，并在維修工作進(jìn)行的情況下進(jìn)行保養(yǎng)。進(jìn)氣側(cè)的羅茨泵變頻器允許在廣泛的氣體吞吐量范圍對過程參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，并允許各種不同的過程氣體。
普發(fā)真空不斷監(jiān)測行業(yè)各個(gè)領(lǐng)域中工藝的動態(tài)發(fā)展，并在未來將繼續(xù)提供優(yōu)化的泵解決方案以滿足這些需求。
