多級(jí)羅茨泵—真空工藝設(shè)計(jì)/工作原理
在該泵中，兩個(gè)同步反向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子 (1) 在單個(gè)殼體 (2) 中非接觸旋轉(zhuǎn)（Figure 4.11）。該轉(zhuǎn)子具有 8 字形結(jié)構(gòu)，且相互之間由窄間隙分離開(kāi)來(lái)。有四到六對(duì)轉(zhuǎn)子位于轉(zhuǎn)子軸上。每個(gè)轉(zhuǎn)子腔通過(guò)帶有噴氣口的定子盤(pán)與其他轉(zhuǎn)子分離開(kāi)來(lái)。輸送的氣體從入口 (3) 被抽到出口。垂直泵送方向在流程泵中始終很重要。因此，排污口通道中各級(jí)之間的空間可用作粒子陷阱。這避免泵堵塞的z*佳方式。
由于吸入室中無(wú)摩擦，羅茨真空泵可在高達(dá) 6,000 rpm 的高轉(zhuǎn)速下操作。轉(zhuǎn)子質(zhì)量圍繞軸線對(duì)稱分布還產(chǎn)生完美的動(dòng)態(tài)平衡，這意味著，盡管其轉(zhuǎn)速很高，泵的運(yùn)行卻極為安靜。
為了避免化學(xué)物質(zhì)在泵和消聲器中冷凝，可通過(guò)調(diào)節(jié)冷卻水流量或通過(guò)具有加熱套的電加熱對(duì)這些進(jìn)行回火。如果出口消聲器分開(kāi)配置，這需要一個(gè)額外的加熱套。將出口消聲器直接集成在泵體上不僅通過(guò)省掉一個(gè)額外的加熱器來(lái)降低能源成本，而且還使安裝更容易。
