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螺桿真空泵設(shè)計(jì)/工作原理
標(biāo)簽: 真空泵
2015-05-19  閱讀

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兩個(gè)平衡軸承支撐的相互嚙合螺桿轉(zhuǎn)子 (3) 具有同步相反的螺紋并在將其僅僅圍住的圓柱形殼體 (2) 內(nèi)無接觸地反向旋轉(zhuǎn),所有這些一起構(gòu)成一個(gè)多級(jí)。由于兩個(gè)轉(zhuǎn)子的反向網(wǎng)孔,密封在每個(gè)螺紋中的容積隨著轉(zhuǎn)子向出口 (4) 推進(jìn)。該泵在入口 (1) 或出口處都沒有閥門。當(dāng)置換容積達(dá)到出口開口處時(shí),壓力與氣壓平衡。這意味著環(huán)境空氣流入置換容積,然后隨著轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)再次排放。這種脈沖氣流產(chǎn)生高水平的耗散能量并加熱泵。通過內(nèi)部壓縮方式可z*小化耗散能量。這種內(nèi)部壓縮可通過減少出口方向的螺距來實(shí)現(xiàn)。殼體和轉(zhuǎn)子之間的間隙以及轉(zhuǎn)子之間的間隙決定了螺桿泵可實(shí)現(xiàn)的極限壓力。當(dāng)轉(zhuǎn)子與另一轉(zhuǎn)嚙合時(shí)產(chǎn)生的幾何形狀和間隙配置也顯著影響極限壓力。

螺桿真空泵設(shè)計(jì)/工作原理

由于脈沖氣流產(chǎn)生的耗散能量在出口側(cè)加熱泵,這個(gè)精確的位置上需要冷卻。殼體和轉(zhuǎn)子之間的間隙是較熱轉(zhuǎn)子和冷卻的殼體之間溫差造成的結(jié)果。產(chǎn)生的熱量和溫度是入口壓力范圍產(chǎn)生的結(jié)果。在高入口壓力(接近大氣壓)時(shí)溫度z*低,因?yàn)榇藭r(shí)幾乎沒有進(jìn)行任何壓縮工作且置換空氣足以將泵的熱量輸送出去。此外,高氣體流量也防止氣體在末級(jí)中振蕩。在極限壓力 (p < 1 hPa) 下的操作過程中,大氣振蕩在出口區(qū)域產(chǎn)生較高的溫度,由于沒有氣體通過泵,因此沒有熱量被輸送到泵外。

HeptaDry 泵是干式螺桿泵,具有內(nèi)部壓縮。螺桿轉(zhuǎn)子具有可變螺距的對(duì)稱幾何形狀。這些泵沒有帶有控制孔的端板;相反,氣體在大氣壓下軸向排出。由于內(nèi)部壓縮,脈沖氣體量較低。

螺桿真空泵設(shè)計(jì)/工作原理

這將導(dǎo)致耗電量降低、操作無噪音、泵內(nèi)溫度均勻分布以及冷卻水耗量降低。這使得這些泵極具成本效益,雖然其設(shè)計(jì)堅(jiān)固耐用。