隔膜真空泵 設(shè)計(jì)/工作原理
隔膜真空泵是干式正排量泵。曲軸驅(qū)動(dòng)的連桿 (4) 移動(dòng)在頭蓋 (2) 和殼體 (3) 之間張緊的隔膜 (1)。頭蓋和隔膜之間的空間形成吸入室 (5)。隔膜泵需要入口閥和出口閥 (6) 以實(shí)現(xiàn)目標(biāo)氣體排量。由彈性體材料制成的壓力控制斷流閥用作此閥。由于吸入室通過(guò)各隔膜與驅(qū)動(dòng)器嚴(yán)密密封開(kāi)來(lái)，泵介質(zhì)不會(huì)受到油的污染，侵蝕性介質(zhì)也不會(huì)腐蝕機(jī)械結(jié)構(gòu)。出口閥和吸入室之間的固定空間產(chǎn)生一個(gè)受限制的壓縮比，這意味著，只要一個(gè)抽吸階段就可實(shí)現(xiàn)約 70 hPa 的極限壓力。
串聯(lián)連接的多個(gè)抽吸階段使實(shí)現(xiàn) 0.5 hPa 的極限壓力稱為可能。較低的壓力無(wú)法實(shí)現(xiàn)，因?yàn)樵谶@種情況下，不再有足夠的力用于打開(kāi)入口閥。隔膜泵的原理特別適合于大約 10 m3 ·h-1 的低抽速。
