Pascal 系列中抽速等級(jí)在 5 和 21 m3 · h-1 之間的旋片式真空泵內(nèi)建有交流或直流電動(dòng)機(jī)。入口和出口法蘭可垂直或水平完美結(jié)合或使配件可以連接。除標(biāo)準(zhǔn)范圍外，也可提供具有強(qiáng)制潤滑和兩個(gè)不同腐蝕性氣體的 I 系列。
SD 系列
專為非腐蝕性氣體而設(shè)計(jì)。天然潤滑（抽速等級(jí)達(dá) 21 m3 · h-1）排氣裝置的排油量。在長期操作過程中，泵的低溫能夠?qū)*終壓力下的回流減少到z*低。
正如其他泵中抽速等級(jí)達(dá) 21 m3 · h-1 一樣，該泵軸封可接近，而無需拆卸泵體，因此現(xiàn)場保養(yǎng)非常容易。
I 系列
I 系列泵配備了強(qiáng)制潤滑。與 SD 系列相比，這提高了水蒸汽耐受性。強(qiáng)制潤滑使 I 系列可以實(shí)現(xiàn)非常低的噪音水平和低振動(dòng)。
C1 系列
由于 FPM 密封件和氧化鉻涂層軸以及殼體、葉片、軸套和視鏡使用特殊材料，C1 系列中的強(qiáng)制潤滑泵特別適合于腐蝕性的氣體應(yīng)用。本系列中兩個(gè)z*大的機(jī)型還集成了油過濾器和油液套管沖洗裝置。
C1 系列配有礦物油。
C2 系列
C2 系列泵也配備了強(qiáng)制潤滑。這些泵防腐蝕性氣體設(shè)備、泵具有軸承潤滑、用于工作液脫氣的中性氣體沖洗設(shè)備以及特殊葉片材料的使用使其優(yōu)于 C1 系列。該系列中兩個(gè)z*大的機(jī)型也配備了油壓力傳感器和油溫傳感器的連接。有了這種防腐蝕性氣體設(shè)備，Pascal C2 泵特別適合于半導(dǎo)體制造中蝕刻和涂層工藝的使用。
C2 系列配有全氟化的工作液。
