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空氣或其他非冷凝氣體通過某種方式被允許進入真空泵,該等方式被稱為氣鎮(zhèn)。如果泵在相應(yīng)溫度下無需氣鎮(zhèn)置換會在泵中冷凝的蒸汽,則氣鎮(zhèn)使出口閥在蒸汽冷凝前打開,且蒸汽與鎮(zhèn)流氣體一起被排出。大氣以及所選惰性或過程氣體被用作鎮(zhèn)流氣體。氣鎮(zhèn)的使用會略微增加真空泵所能達到的底壓。
因此,對于氣鎮(zhèn)真空泵,同時規(guī)定有氣鎮(zhèn)和無氣鎮(zhèn)的底壓。
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