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串聯(lián)抽吸階段的抽速
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2015-05-07  閱讀

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讓我們認(rèn)定真空具有抽速 S0 和壓縮比 K0。該泵通過縫隙具有回流損失,回流流導(dǎo)率為 CR.。讓入口壓力為串聯(lián)抽吸階段的抽速 且排氣壓力為串聯(lián)抽吸階段的抽速 。抽速為 Sb 的附加泵被連接到出口側(cè)。例如,這可以是羅茨泵組或渦輪分子泵組。

抽速為 S 的整個(gè)泵組提供氣體量

串聯(lián)抽吸階段的抽速

公式 4-2:泵組合的氣體流量

對(duì)于回流流導(dǎo)率 CR,以下公式適用,其中 CR << S0

串聯(lián)抽吸階段的抽速

公式 4-3:回流流導(dǎo)

且對(duì)于實(shí)際壓縮比

串聯(lián)抽吸階段的抽速

公式 4-4:實(shí)際壓縮比

使用以上公式,因此得出兩極泵站的抽速 S 將為

串聯(lián)抽吸階段的抽速

公式 4-5:抽速遞推公式
該公式也可以用作多個(gè)抽吸階段的遞推公式,該等抽吸階段通過z*后階段以抽速 Sb 開始和插入前階段的 K0 和 S0 以串聯(lián)連接。