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電離真空規(guī)概述
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2015-04-14  閱讀

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在低壓力氣體中,氣體分子被電離胼生成的正離子數(shù)通常是與氣體分子密度成正比的,利用此關(guān)系可制成各種類型的電離真空規(guī)。

使氣體分子電離有各種方法。例如可采用在電場(chǎng)中或在電磁場(chǎng)中被加速的電子去轟擊氣體分子使其電離,也可采用從放射性物質(zhì)中放射出的具有一定能量的粒子(a粒子或盧粒子)去轟擊氣體分子使其電離等。

在真空測(cè)量中,電離真空規(guī)是z*主要的一種規(guī)型。不同類型的電離真空規(guī)配合使用能夠測(cè)量的壓力范圍,可以從大氣壓起直至目前所能測(cè)量的z*低壓力。在超高真空和極高真空區(qū)域中,電離真空規(guī)是z*實(shí)用的規(guī)型。