輻射計(jì)型真空規(guī)的規(guī)管結(jié)構(gòu)
箔片型克努曾規(guī)(圖11- 28)測(cè)量極板間作用力f的z*簡(jiǎn)便的儀器是金箔驗(yàn)電器，箔的自身質(zhì)量要和廠相匹配。用顯微鏡讀出可動(dòng)箔片的偏傾，并作出此偏傾量與f之間的校準(zhǔn)曲線。此法雖簡(jiǎn)便，但不夠精確，僅可測(cè)量低到10-3Pa的壓力。
平板型克努曾規(guī)（圖11- 29）這種規(guī)的兩塊熱板H是通電流加熱的，回轉(zhuǎn)板V則用細(xì)絲懸吊起來(lái)，絲上附有平面鏡M。在輻射計(jì)力作用下使V板產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，在平衡條件下，懸絲的扭轉(zhuǎn)力矩是與V板的轉(zhuǎn)動(dòng)力矩相等的。因此可用光學(xué)的方法測(cè)出平面鏡M的偏轉(zhuǎn)角，計(jì)算出氣體壓力。
平板型結(jié)構(gòu)的一個(gè)缺點(diǎn)是當(dāng)V板偏轉(zhuǎn)時(shí)，兩板之間的距離d變大，這就可能破壞d應(yīng)小于平板線性尺寸的條件。
圓筒形克努曾規(guī)（圖11- 30）這種規(guī)的渦輪狀回轉(zhuǎn)圓筒R是用細(xì)絲懸吊起來(lái)的，在回轉(zhuǎn)圓筒內(nèi)部裝有熱筒H。當(dāng)熱筒H加熱時(shí)，在輻射計(jì)力作用下會(huì)使渦輪狀圓筒R旋轉(zhuǎn)，兩圓筒之間的距離則可保持不變，這是圓筒結(jié)構(gòu)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)。圓筒型克努曾規(guī)還具有高靈敏度和能小型化等優(yōu)點(diǎn)。
圖11- 28 箔片型克努曾規(guī) A-可動(dòng)片；Pt-加熱片。
圖11. 29 平板型克努曾規(guī)H一熱板；V-回轉(zhuǎn)板
M-小鏡；s-吊絲
圖11- 30 圓筒型克努曾規(guī)H-熱筒；R-渦輪狀回轉(zhuǎn)圓筒；
G-玻璃管。
偏轉(zhuǎn)角的計(jì)算公式如下
式中 0-偏轉(zhuǎn)角5
K——常數(shù)。
此規(guī)在1Pa～10-5Pa的壓力區(qū)間內(nèi)，偏轉(zhuǎn)角日與壓力p之間具有線性關(guān)系。
平板型克努曾規(guī)（圖11- 29）這種規(guī)的兩塊熱板H是通電流加熱的，回轉(zhuǎn)板V則用細(xì)絲懸吊起來(lái)，絲上附有平面鏡M。在輻射計(jì)力作用下使V板產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，在平衡條件下，懸絲的扭轉(zhuǎn)力矩是與V板的轉(zhuǎn)動(dòng)力矩相等的。因此可用光學(xué)的方法測(cè)出平面鏡M的偏轉(zhuǎn)角，計(jì)算出氣體壓力。
平板型結(jié)構(gòu)的一個(gè)缺點(diǎn)是當(dāng)V板偏轉(zhuǎn)時(shí)，兩板之間的距離d變大，這就可能破壞d應(yīng)小于平板線性尺寸的條件。
圓筒形克努曾規(guī)（圖11- 30）這種規(guī)的渦輪狀回轉(zhuǎn)圓筒R是用細(xì)絲懸吊起來(lái)的，在回轉(zhuǎn)圓筒內(nèi)部裝有熱筒H。當(dāng)熱筒H加熱時(shí)，在輻射計(jì)力作用下會(huì)使渦輪狀圓筒R旋轉(zhuǎn)，兩圓筒之間的距離則可保持不變，這是圓筒結(jié)構(gòu)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)。圓筒型克努曾規(guī)還具有高靈敏度和能小型化等優(yōu)點(diǎn)。
圖11- 28 箔片型克努曾規(guī) A-可動(dòng)片；Pt-加熱片。
圖11. 29 平板型克努曾規(guī)H一熱板；V-回轉(zhuǎn)板
M-小鏡；s-吊絲
圖11- 30 圓筒型克努曾規(guī)H-熱筒；R-渦輪狀回轉(zhuǎn)圓筒；
G-玻璃管。
式中 0-偏轉(zhuǎn)角5
K——常數(shù)。
此規(guī)在1Pa～10-5Pa的壓力區(qū)間內(nèi)，偏轉(zhuǎn)角日與壓力p之間具有線性關(guān)系。
