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電阻真空規(guī)是皮拉尼在1906年發(fā)明的,故又稱皮拉尼規(guī)。這種規(guī)的熱絲溫度是隨壓力而變化的,由于溫度的改變導致熱絲電阻的變化,用測量電阻的變化來測量真空度。此規(guī)要求熱絲具有大的電阻溫度系數,以提高靈敏度;還要求熱絲具有良好的化學穩(wěn)定性,以減少零點漂移。 表11-3列出了...
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