在真空測(cè)量中,通常所用的U形壓力計(jì)有如下幾種形式:
圖11-1為開管式U形壓力計(jì),它是一種以大氣壓作為參考?jí)毫Φ腢形壓力計(jì)。
圖11-2為閉管式U形壓力計(jì),其封閉支管中的氣體壓力與被測(cè)氣體壓力相比,可以忽略。
圖11-3是采用電學(xué)方法測(cè)量液面高度差的水銀U形壓力計(jì),它的兩個(gè)支管中裝有電阻絲(鎢絲或鉑絲),隨著水銀液面的上升或下降,絲的電阻值隨之減小或增大,以此來測(cè)出兩液面高度之差。
面差的U形壓力計(jì)
圖11-4是傾斜式U形壓力計(jì),它根據(jù)所測(cè)出的L值由矗=Lsin0來算出液面高度差。此種結(jié)構(gòu)形式可以提高靈敏度5倍~10倍。
圖11-5是一種油U形壓力計(jì)。
除通常使用的U形壓力計(jì)外,特殊設(shè)計(jì)的精密U形壓力計(jì)可作為1×105Pa—10 -lPa壓力范圍的真空測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)。它的歷史悠久,經(jīng)受了長(zhǎng)期實(shí)踐的考驗(yàn),被公認(rèn)為是真空測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)中z*成熟、可靠性z*高的標(biāo)準(zhǔn)。