真空裝置的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)是由硬件和軟件組成。所謂硬件，即系統(tǒng)的控制裝置，它是由計(jì)算機(jī)及相關(guān)的外圍設(shè)備、測(cè)量裝置（如真空計(jì)、測(cè)溫儀表等）和執(zhí)行機(jī)構(gòu)等構(gòu)成。至于計(jì)算機(jī)可以是工業(yè)控制機(jī)，也可以根據(jù)真空裝置的要求，選擇某種類型的微型計(jì)算機(jī)、單片機(jī)，配置適當(dāng)?shù)慕涌陔娐芳巴鈬O(shè)備構(gòu)成。所謂軟件，即控制系統(tǒng)的控制程序，也就是使硬件如何工作的指令，它使計(jì)算機(jī)自動(dòng)地完成真空裝置預(yù)定的控制任務(wù)。
真空裝置計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)框圖如圖10-229所示。
被控對(duì)象 輸入輸出設(shè)備 計(jì)算機(jī)人一機(jī)聯(lián)系設(shè)備
圖10-229計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖
①計(jì)算機(jī)主機(jī)結(jié)構(gòu)。不論哪種真空裝置的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，其核心均為計(jì)算機(jī)，一般數(shù)字計(jì)算機(jī)主機(jī)在結(jié)構(gòu)和原理上大致相似，它通常由運(yùn)算器、控制器和內(nèi)存儲(chǔ)器組成。人們往往把運(yùn)算器和控制器合在一起稱為中央處理單元-CPU(Central Processing Unit)。微型計(jì)算機(jī)的CPU又稱微處理器。
a．運(yùn)算器：主要用來(lái)對(duì)數(shù)據(jù)或信息進(jìn)行加、減、乘、除等算術(shù)運(yùn)算和邏輯運(yùn)算。
b．內(nèi)存儲(chǔ)器：存儲(chǔ)器用來(lái)存儲(chǔ)各種數(shù)據(jù)與信息，具有記憶功能。其中放在計(jì)算主機(jī)內(nèi)部的稱為內(nèi)存儲(chǔ)器或主存儲(chǔ)器。
c．控制器：它聯(lián)系計(jì)算機(jī)各部分，向各部分發(fā)出協(xié)調(diào)工作的指令，是計(jì)算機(jī)的指揮和控制機(jī)構(gòu)。
②計(jì)算機(jī)外圍設(shè)備。
a．人一機(jī)聯(lián)系設(shè)備：常用的有鍵盤、紙帶讀入機(jī)、卡片讀入機(jī)、盒式磁帶機(jī)、打印機(jī)、CRT顯示器等，是操作人員與計(jì)算機(jī)聯(lián)系的工具。
b．輸入愉出設(shè)備：它一方面把被控真空裝置工作過(guò)程參數(shù)取出，經(jīng)過(guò)模—數(shù)轉(zhuǎn)換( A/D)變成計(jì)算機(jī)能夠接收和識(shí)別的代碼，以便計(jì)算機(jī)進(jìn)行運(yùn)算處理；另一方面，又把計(jì)算機(jī)作出的控制決定，經(jīng)過(guò)數(shù)膜轉(zhuǎn)換(D/A)，變成真空裝置上的執(zhí)行機(jī)構(gòu)（如真空閥）的控制信號(hào)。
c．外存儲(chǔ)器：裝在計(jì)算機(jī)主機(jī)之外的存儲(chǔ)器，其容量根據(jù)被控真空裝置的控制需要選定，用以擴(kuò)大主機(jī)的存儲(chǔ)容量。
③測(cè)量裝置及執(zhí)行機(jī)構(gòu)。測(cè)量裝置將被控真空裝置的工藝參數(shù)如壓力、溫度等物理量，轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，通過(guò)A/D送入計(jì)算機(jī)；執(zhí)行機(jī)構(gòu)將計(jì)算機(jī)輸出的控制信號(hào)轉(zhuǎn)交為被控真空設(shè)備工藝參數(shù)如壓力、溫度的變化，實(shí)現(xiàn)對(duì)真空裝置及工藝的控制。計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)的控制精度及可靠性，在很大程度上取決于測(cè)量裝置及執(zhí)行機(jī)構(gòu)的選取。
④控制系統(tǒng)軟件。要想使真空裝置按預(yù)定的要求進(jìn)行工作，控制系統(tǒng)必須具備完善的控制程序即軟件。
控制系統(tǒng)軟件分為：
a．系統(tǒng)軟件：通常包括程序設(shè)計(jì)系統(tǒng)、操作系統(tǒng)、診斷程序等，由計(jì)算機(jī)制造廠提供。
b．應(yīng)用軟件：因真空裝置的控制要求不同而異，通常應(yīng)包括真空裝置順序控制程序、真空工藝過(guò)程控制程序、真空設(shè)備工作過(guò)程監(jiān)視程序等。應(yīng)用軟件由配套廠或使用單位配置。
