為實現(xiàn)真空裝置的程序控制、真空工藝流程的自動轉(zhuǎn)換、真空工藝參數(shù)的自動調(diào)節(jié)，通常是用一些自動控制元件、真空計、壓力控制儀和工業(yè)自動化儀表、自動控制裝置、微型計算機等組成的自動控制系統(tǒng)來實現(xiàn)。不同的真空裝置其自動控制系統(tǒng)不同，即使是同一類型真空裝置，因控制的技術(shù)要求不同，所采用的自動控制系統(tǒng)也不同。
常用的真空裝置自動控制系統(tǒng)有繼電器控制系統(tǒng)、壓力控制儀或工業(yè)自動化調(diào)節(jié)儀表系統(tǒng)、可編程序控制系統(tǒng)、計算機控制系統(tǒng)等。它們各具特點，分別適用于不同的真空裝置的控制。它們的性能比較如下：
真空裝置各類控制性能表
自動控制系統(tǒng)是真空裝置的重要組成部分，它對提高真空裝置的技術(shù)性能起著重要作用。在確定真空裝置的控制系統(tǒng)時，應(yīng)在z*大限度地滿足真空裝置及其真空工藝對控制要求的前提下，妥善處理真空裝置的機械結(jié)構(gòu)和自動控制系統(tǒng)的關(guān)系，力求控制系統(tǒng)簡單、經(jīng)濟，不宜盲目追求高度自動化；要合理選擇自動控制元件、自動儀表及自動控制裝置，保證真空裝置安全、經(jīng)濟、可靠，并且便于操作和維修。
真空裝置的自動控制系統(tǒng)的種類繁多，能實現(xiàn)的控制目標(biāo)也不同，因而其設(shè)計方法也不相同。通常是根據(jù)真空裝置的類型、技術(shù)指標(biāo)、工藝流程、傳動參數(shù)、動作要求及現(xiàn)場條件進行。自動控制系統(tǒng)設(shè)計包括原理設(shè)計和工藝設(shè)計。其原理設(shè)計主要是選擇控制方案、繪制控制原理圖、編制設(shè)計計算說明書等；工藝設(shè)計的目的是實現(xiàn)原理設(shè)計的技術(shù)指標(biāo)，為控制裝置的制造、調(diào)試、使用和維修提供控制系統(tǒng)的元器件布置圖、總接線圖，編寫使用說明書等。
