【康沃真空網(wǎng)】在真空裝置自動(dòng)控制中，經(jīng)常采用一些通用自動(dòng)控制元件，有機(jī)械、電氣、氣動(dòng)、液壓等類型。例如，按鈕、開(kāi)關(guān)、信號(hào)燈、繼電器、接觸器、熔斷器、限位開(kāi)關(guān)、變壓器、電機(jī)、控制電機(jī)、氣動(dòng)閥、液壓閥、液壓缸等，還采用一些工業(yè)自動(dòng)化儀表（如溫度、壓力等測(cè)量與控制儀表）、自動(dòng)控制裝置（如呵編程序控制器等）以及單片機(jī)、微型計(jì)算機(jī)、工業(yè)控制機(jī)等。這些通用的自動(dòng)控制元件、自動(dòng)儀表、自動(dòng)控制裝置及計(jì)算機(jī)，均可在相關(guān)的專用手冊(cè)中查到。除此之外，還廣泛采用專用的真空自動(dòng)控制元件、真空計(jì)、壓力控制儀、真空閥及真空調(diào)節(jié)閥等。
真空繼電器
真空繼電器是一種自動(dòng)切換開(kāi)關(guān)，它根據(jù)真空裝置中真空測(cè)量點(diǎn)氣體壓力的高低而接通或斷開(kāi)。從原理上講，除壓縮式真空計(jì)外，其它真空計(jì)、真空表，均可配以適當(dāng)?shù)目刂齐娐?，?gòu)成真空繼電器。特別是微機(jī)化真空計(jì)，更可方便地用軟件設(shè)定壓力控制點(diǎn)。真空繼電器在其壓力控制范圍內(nèi)，可任意設(shè)定壓力控制點(diǎn)。當(dāng)測(cè)量壓力值等于設(shè)定的壓力值時(shí)，發(fā)出相應(yīng)的控制信號(hào)，使其內(nèi)部的有觸點(diǎn)或無(wú)觸點(diǎn)開(kāi)關(guān)斷開(kāi)或閉合，從而實(shí)現(xiàn)壓力自動(dòng)控制。當(dāng)前除個(gè)別專門用作壓力控制的真空繼電器外，大多數(shù)真空計(jì)既可進(jìn)行真空測(cè)量，又可實(shí)現(xiàn)壓力的繼電控制，已經(jīng)難于嚴(yán)格區(qū)分真空計(jì)和真空繼電器的界限。
表征真空繼電器性能的主要技術(shù)指標(biāo)是：壓力控制范圍、控制精度、控制點(diǎn)數(shù)、觸點(diǎn)容量、控制響應(yīng)時(shí)間及可靠性等。真空繼電器廣泛應(yīng)用于各種真空裝置的自動(dòng)控制中。它與其它控制元件配合，可實(shí)現(xiàn)真空裝置的程序控制以及控制精度不高的位式壓力控制，并可在真空裝置發(fā)生漏氣等意外事故時(shí)，進(jìn)行報(bào)警或自動(dòng)保護(hù)。
(1)機(jī)電型真空繼電器
機(jī)電型真空繼電器是由機(jī)械型真空規(guī)，配以控制電路組成。其結(jié)構(gòu)如圖10-218所示。靜觸點(diǎn)1是一個(gè)調(diào)節(jié)螺絲，用以調(diào)節(jié)設(shè)定控制壓力值。膜盒及波紋管同屬于彈性元件，它們縣有相同的功能，均能把壓力變成位移。當(dāng)規(guī)管內(nèi)壓力達(dá)到設(shè)定的控制壓力值時(shí)，動(dòng)、靜觸點(diǎn)接通，通過(guò)控制電路使繼電器K動(dòng)作，從而實(shí)現(xiàn)真空裝置的控制和保護(hù)。
(2)電接點(diǎn)真空表
電接點(diǎn)真空表是在彈簧管真空表內(nèi)裝上電接點(diǎn)，配以適當(dāng)?shù)目刂齐娐?，?gòu)成真空繼電器。它除了粗真空測(cè)量外，還可以設(shè)定壓力控制點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)壓力控制。
(3)帶控制功能的真空計(jì)
帶壓力控制點(diǎn)的真空計(jì)在原真空計(jì)基礎(chǔ)上拓展而成。它除了能進(jìn)行真空測(cè)量外，還能完成一路到多路的壓力控制。若原真空計(jì)的控制電路是分立元件構(gòu)成，則在原測(cè)量電路上，再增加真空控制電路。通常是增加繼電器控制電路或無(wú)觸點(diǎn)開(kāi)關(guān)控制電路。其真空測(cè)量與控制范圍取決于該真空計(jì)所配用的真空規(guī)管。常用的真規(guī)管有熱偶規(guī)、電阻規(guī)、電離規(guī)等。
