累積法檢漏具體操作步驟
①氦罩未充氣前，關(guān)閉檢漏儀的高真空閥，經(jīng)At時(shí)間后，記錄輸出儀表讀數(shù)Il+
②打開(kāi)檢漏儀的高真空閥，使檢漏儀恢復(fù)到起始狀態(tài)；
③氦罩通氦，關(guān)閉檢漏儀高真空閥，經(jīng)過(guò)At時(shí)間，讀出輸出儀表讀數(shù)I2+
④將△I1+和△I2+代入式(13-93)就可大致推算出漏孔的漏率q。此時(shí)，應(yīng)注意式(13-93)和式(13-94)的前提是，在累積時(shí)間△t內(nèi)檢漏儀噪聲是不變的。但實(shí)際上噪聲是會(huì)有較大變化的，假設(shè)時(shí)間△t后噪聲增大到初始值的f倍，則
⑤被檢件中應(yīng)盡可能不用或者少用容易吸氦的真空橡膠、油脂、塑料等材料。
有些檢漏儀的擴(kuò)散泵與質(zhì)譜室之間沒(méi)有閥門，這時(shí)，可在外接法蘭處增設(shè)一個(gè)供累積法檢漏使用的閥門，不過(guò)此時(shí)式(13-93)～式(13-95)不再成立。
