質(zhì)譜檢漏正壓檢漏法：吸入法檢漏
質(zhì)譜檢漏的正壓檢漏法z*常用的是吸入法，如圖13-49所示。
1．吸入法檢漏過程
吸槍通過細長管道與氦質(zhì)譜檢漏儀相連，被檢件充入壓力鄉(xiāng)高于環(huán)境大氣壓力的氦氣（或氦與氮混合或氦與大氣混合氣體），吸槍的吸嘴在被檢件可疑有漏孔的表面以一定速度移動，通過漏孔漏出的氣體的一部分進入吸嘴，隨之進入檢漏儀質(zhì)譜室，可指出漏孔的存在。與噴吹法類似，檢漏儀指示有漏時，漏孔不一定正好在吸嘴所對的被檢件的部位，茌發(fā)現(xiàn)漏孔的范圍內(nèi)，減小吸槍移動速度、減小吸嘴與被檢件的距離并反復(fù)查找，可以找到漏孔的準(zhǔn)確位置，在吸嘴正好對準(zhǔn)漏孔，吸槍不移動時，檢漏儀指示的漏率可能等于或接近于漏孔的實際漏率。吸入法檢漏靈敏度受很多因素限制，如漏孔的形狀、吸嘴相對于漏孔的距離、吸槍相對于漏孔的夾角和移動速度、吸嘴的形狀和尺寸、吸槍的吸氣能力以及大氣中氦氣本底濃度大小及穩(wěn)定情況等。
吸嘴法檢漏中應(yīng)注意的問題是：
①靈敏度受連接管道的流導(dǎo)限制。在有輔助泵時，還會受輔助泵分流作用的影響。
②初檢時，被檢件切勿充人過高壓力的示漏氣體，因為，如果有大漏孔，示漏氣體會從被檢件中漏出，造成較大浪費，而且示漏氣體到處擴散后，會給檢漏儀帶來很大干擾。因此，一般應(yīng)先向被檢件內(nèi)充以低壓力、低濃度的示漏氣體，在檢出大漏并加以修補后，再充人高壓力、高濃度的示漏氣體，對小漏孔進行檢查。
③檢漏完畢后，應(yīng)將示漏氣體回收或放空，并注意檢漏場地通風(fēng)。
