我國從20世紀60年代初期開始研制、生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產(chǎn)方面有了飛速的發(fā)展。已正式投產(chǎn)的國產(chǎn)儀器有10余種，現(xiàn)將部分儀器性能、指標分述如下：ZQJ系列菜些新型號氮質(zhì)譜檢漏儀。
目前ZQJ系列氦質(zhì)譜檢漏儀有：ZQJ-220、ZQJ-230D、ZQJ-230E、ZQJ-240、ZQJ-291等新型號產(chǎn)品，由北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責任公司生產(chǎn)。
①ZQJ-220型氦質(zhì)譜檢漏儀具有常規(guī)和逆擴散兩種檢漏方式，檢測范圍寬，自動閥門控制系統(tǒng)可防止誤操作，采用油擴散泵作為高真空抽氣泵，需要較長的啟動時間和液氮。
②ZQJ-230D型氦質(zhì)譜檢漏儀采用逆擴散檢漏，可在較高壓力下開始檢漏。采用了渦輪分子泵和機械泵組成的抽氣系統(tǒng)，啟動快。該儀器既可用于抽空檢漏，也可用于吸槍檢漏。
技術(shù)指標：
響應(yīng)時間 <3s
z*小可檢漏率 3×10^ -1lPa·m³/S
啟動時間 < 8min
漏率顯示范圍 2×10 ^-11Pa.I113/S—1×10^ -4Pa·m³/S
允許檢漏口z*高工作壓力(普通) 20Pa—50Pa
儀器體積 600mm×540mm×920mm
③ZQJ-230E型氦質(zhì)譜檢漏儀有一個獨立的預(yù)抽泵。特別適合于大容積系統(tǒng)檢漏。操作檢漏過程的電磁閥用一單片機控制，可靠靈活。ZQJ-230E型氦質(zhì)譜檢漏儀是以全套(3個)電磁閥替換ZQJ-230型儀器的手動閥，避免了操作人員的誤操作。ZQJ-230E塑氦質(zhì)譜檢漏儀采用逆擴散檢漏，所以能在較高壓力下開始檢漏。儀器本身的高真空系統(tǒng)采用了渦輪分子泵和機械泵組成的排氣系統(tǒng)，啟動快。它采用手動組合閥完成檢漏的全過程操作(預(yù)抽、檢漏和放氣)。用50個發(fā)光條和相應(yīng)的數(shù)字量程指數(shù)顯示漏率。ZQJ-230E既可用于抽空檢漏，亦可用于吸槍檢漏。
技術(shù)指標：
響應(yīng)時間<3s
z*小可檢漏率5 × 10 ^-llPa·m³/s
啟動時間< 8min
漏率顯示范圍2 ×10^-11Pa, m3/s～ 1 × 10 ^-4Pa.m3/s
允許檢漏口z*高工作壓力(普通)20Pa～ 50Pa
儀器體積 540mm×500mm×950mm
④ZQJ-240型氦質(zhì)譜檢漏儀采用了渦輪分子泵和機械泵組成的抽氣系統(tǒng)，具有常規(guī)和逆擴散兩種檢漏方式，自動閥門控制系統(tǒng)可防止誤操作，其自動量程轉(zhuǎn)換和報廢點設(shè)置功能適合快速循環(huán)檢漏。
技術(shù)指標：
z*小可檢漏率 5×10^ - 12Pa·m³/s
響應(yīng)時間 <3s
啟動時間 <10min
漏率顯示范圍 2×10 ^-12Pa·m³/s—8×10^ -2Pa·m³/s
儀器體積 600mm×650mm×1030mm
