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我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將部分儀器性能、指標分述如下：ZLS系列某些新型號氦質譜檢漏儀。 目前ZLS系列氦質譜檢漏儀已陸續有近10個型號產品問世，新型號有ZLS-23B、ZLS-34B、ZLS-24C和ZLS-26D/F等。 ①ZLS-23B、ZLS-24B、ZLS-24C型氦質譜檢漏儀技...