我國(guó)從20世紀(jì)60年代初期開(kāi)始研制、生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產(chǎn)方面有了飛速的發(fā)展。已正式投產(chǎn)的國(guó)產(chǎn)儀器有10余種，現(xiàn)將部分儀器性能、指標(biāo)分述如下：ZLS系列某些新型號(hào)氦質(zhì)譜檢漏儀。
目前ZLS系列氦質(zhì)譜檢漏儀已陸續(xù)有近10個(gè)型號(hào)產(chǎn)品問(wèn)世，新型號(hào)有ZLS-23B、ZLS-34B、ZLS-24C和ZLS-26D/F等。
①ZLS-23B、ZLS-24B、ZLS-24C型氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)性能見(jiàn)表13-15。
②ZLS-26D/T型氦質(zhì)譜檢漏儀由北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司生產(chǎn)，是新型的全功能氦質(zhì)譜檢漏儀，機(jī)內(nèi)采用渦輪分子泵作主排氣機(jī)，啟動(dòng)快(僅5min即可使用)o儀器可以在測(cè)試口壓強(qiáng)近似大氣時(shí)，采用逆擴(kuò)散方式進(jìn)行檢漏，也可以在測(cè)試口壓強(qiáng)為50Pa以下時(shí)采用常規(guī)方式進(jìn)行檢漏。用常規(guī)方式檢漏時(shí)，可以在分流狀態(tài)下檢較大的漏隙(測(cè)試口壓強(qiáng)在50Pa—10^-lPa)，也可以在不分流狀態(tài)下檢小漏隙(測(cè)試口壓強(qiáng)在10^-lPa以下)。測(cè)量范圍2×10^-lPa.m3/s—2×10^-12Pa.I113/s。采用光柱和數(shù)碼管直接顯示漏率，且可按需要選用適當(dāng)?shù)穆┞蕟挝?儀器已給出四種常用單位Pa.1113/S、Torr.L/s、mb.l/s、atm.cc/s)，讀數(shù)方便。儀器有音響報(bào)警裝置，報(bào)警點(diǎn)可以任意設(shè)定，使用方便。本儀器適用對(duì)各種零部件作噴吹法(真空檢漏法)、吸槍法(壓力檢漏法)、背壓法檢漏。
主要技術(shù)參數(shù)：
z*小可檢漏率 優(yōu)于5Pa·m³/s～10^-12Pa.rll3/S
z*大可檢漏率 2×10^-1Pa·m³/S
漏率顯示范圍 2×10^-1Pa.m³/s～2×10^-13Pa·m³/s
反應(yīng)時(shí)間 不大于3s
質(zhì)譜室允許工作的z*高壓強(qiáng) 1×10^-2Pa
測(cè)試口允許工作的z*高壓強(qiáng) 1000Pa
被檢件由粗抽至檢漏的自動(dòng)切換點(diǎn)，檢漏點(diǎn)可調(diào)范圍 50Pa～10^-1Pa
背壓法檢漏時(shí)間可調(diào)范圍 5s—30s
儀器的啟動(dòng)時(shí)間 不大于5min
儀器體積 640mm×550mm×980mm。
