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我國(guó)從20世紀(jì)60年代初期開(kāi)始研制、生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產(chǎn)方面有了飛速的發(fā)展。已正式投產(chǎn)的國(guó)產(chǎn)儀器有10余種，現(xiàn)將部分儀器性能、指標(biāo)分述如下：ZhP-10型氦質(zhì)譜檢漏儀。

此檢漏儀是磁偏型以氦為示蹤氣體的高靈敏度的質(zhì)譜計(jì)。它具有常規(guī)檢漏和逆擴(kuò)散檢漏兩種方式，漏率能自動(dòng)顯示。可實(shí)現(xiàn)高壓力下(10Pa)檢漏。

技術(shù)性能：靈敏度優(yōu)于2×10^-9Pa.L/s，反應(yīng)時(shí)間小于3s，啟動(dòng)時(shí)間小于40min，液氮消耗量1L/24h。